[{"@context":"http:\/\/schema.org\/","@type":"BlogPosting","@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/archives\/20891#BlogPosting","mainEntityOfPage":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/archives\/20891","headline":"3D-Integration  – \u30a6\u30a3\u30ad\u30da\u30c7\u30a3\u30a2","name":"3D-Integration  – \u30a6\u30a3\u30ad\u30da\u30c7\u30a3\u30a2","description":"before-content-x4 \u4e0b 3D\u7d71\u5408 \u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u7d71\u5408\u56de\u8def\uff08IC\u3001\u30c1\u30c3\u30d7\uff09\u3092\u7406\u89e3\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u30012\u3064\u4ee5\u4e0a\u306e\u5c64\u306b\u6c34\u5e73\u65b9\u5411\u3068\u5782\u76f4\u306e\u4e21\u65b9\u3067\u7d71\u5408\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3064\u307e\u308a\u3001\u5358\u4e00\u306e\u56de\u8def\u306b\u63a5\u7d9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 3\u6b21\u5143\u7d71\u5408\u56de\u8def \uff083D-IC\uff09\u3002\u7570\u306a\u308b\u30a2\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u30ec\u30d9\u30eb\u9593\u306e\u5782\u76f4\u63a5\u7d9a\u306f\u3001\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30b9\u30eb\u30fc\u63a5\u89e6\uff08\u82f1\u8a9e\uff09\u306b\u3088\u3063\u3066\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u30b9\u30eb\u30fc\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30d0\u30a4\u30a2\u30b9 \uff09\u6709\u52b9\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u696d\u754c\u3067\u306f\u30013D\u7d71\u5408\u306f\u3001\u3088\u308a\u30b3\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u3067\u3088\u308a\u5f37\u529b\u306a\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\uff08\u300c\u30e0\u30fc\u30a2\u3088\u308a\u3082\u300d\uff09\u306e\u50be\u5411\u3092\u7d99\u7d9a\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6709\u671b\u306a\u30d1\u30b9\u3068\u3057\u3066\u53d6\u5f15\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1\u304c\u7d9a\u304d\u307e\u3059\u3002 \u30e1\u30a4\u30f3\u30c1\u30c3\u30d7\u30683\u3064\u306e\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u30c1\u30c3\u30d7\u306e3D\u7d71\u5408\u306e\u4f8b after-content-x4 3D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08Engl\u3002 3D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8 \uff09\u5358\u4e00\u306e\u4f4f\u5b85\u3067\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3092\u901a\u3057\u3066\u30b9\u30da\u30fc\u30b9\u3092\u7bc0\u7d04\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306f\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30a4\u30f3\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08SIP\uff09\u307e\u305f\u306f\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u30de\u30eb\u30c1\u30c1\u30c3\u30d7\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u3068\u3057\u3066\u77e5\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u500b\u3005\u306eICS\u306f\u5358\u4e00\u306e\u56de\u8def\u306b\u7d71\u5408\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u305b\u3093\u3002\u305d\u308c\u3089\u306f\u3001\u96fb\u6c17\u4fe1\u53f7\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u5916\u5074\u3068\u3001\u7570\u306a\u308b\u30cf\u30a6\u30b8\u30f3\u30b0\u306e\u56de\u8def\u57fa\u677f\u306b\u8a2d\u7f6e\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u5834\u5408\u306b\u5f15\u304d\u7d9a\u304d\u901a\u4fe1\u3057\u307e\u3059\u3002 \u5bfe\u7167\u7684\u306b\u30013D-IC\u306f\u5358\u4e00\u306eIC\u306e\u3088\u3046\u306b\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u3059\u3079\u3066\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u3059\u3079\u3066\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u3001\u5782\u76f4\u304a\u3088\u3073\u6c34\u5e73\u65b9\u5411\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u65b9\u6cd5\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u30013D IC\u5185\u3067\u4e92\u3044\u306b\u901a\u4fe1\u3057\u307e\u3059\u3002\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u30013D-IC\u306f\u3001\u56de\u8def\u57fa\u677f\u306b\u5408\u308f\u305b\u3066\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30aa\u30f3\u30c1\u30c3\u30d7\u3068\u540c\u69d8\u306e3D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306b\u52d5\u4f5c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u4ee5\u4e0b\u306f\u30013D\u7d71\u5408\u56de\u8def\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u306a4\u3064\u306e\u65b9\u6cd5\u3067\u3059\u3002\u30ea\u30b9\u30c8\uff1a after-content-x4 \u30e2\u30ce\u30ea\u30b7\u30c3\u30af\u751f\u7523 \u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3068\u305d\u306e\u63a5\u7d9a\uff08\u914d\u7dda\uff09\u306f\u3001\u5358\u4e00\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u8cea\uff08WAEF\uff09\u306b\u5c64\u3067\u9069\u7528\u3055\u308c\u3001\u305d\u306e\u5f8c\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u30ab\u30c3\u30c8\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u5358\u4e00\u306e\u57fa\u8cea\u3057\u304b\u306a\u3044\u305f\u3081\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u30a2\u30e9\u30a4\u30e1\u30f3\u30c8\u3001\u7d50\u5408\u3001\u307e\u305f\u306f\u904e\u5270\u306a\u5b58\u5728\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3057\u307e\u305b\u3093\u3002\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3 [\u521d\u3081]","datePublished":"2020-11-24","dateModified":"2020-11-24","author":{"@type":"Person","@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/archives\/author\/lordneo#Person","name":"lordneo","url":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/archives\/author\/lordneo","image":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/44a4cee54c4c053e967fe3e7d054edd4?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/44a4cee54c4c053e967fe3e7d054edd4?s=96&d=mm&r=g","height":96,"width":96}},"publisher":{"@type":"Organization","name":"Enzyklop\u00e4die","logo":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/wiki4\/wp-content\/uploads\/2023\/08\/download.jpg","url":"https:\/\/wiki.edu.vn\/wiki4\/wp-content\/uploads\/2023\/08\/download.jpg","width":600,"height":60}},"image":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/upload.wikimedia.org\/wikipedia\/commons\/thumb\/3\/37\/3DS_die_stacking_concept_model_%28DE%29.png\/220px-3DS_die_stacking_concept_model_%28DE%29.png","url":"https:\/\/upload.wikimedia.org\/wikipedia\/commons\/thumb\/3\/37\/3DS_die_stacking_concept_model_%28DE%29.png\/220px-3DS_die_stacking_concept_model_%28DE%29.png","height":"79","width":"220"},"url":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/archives\/20891","wordCount":4313,"articleBody":"     (adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({});before-content-x4\u4e0b 3D\u7d71\u5408 \u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u7d71\u5408\u56de\u8def\uff08IC\u3001\u30c1\u30c3\u30d7\uff09\u3092\u7406\u89e3\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u30012\u3064\u4ee5\u4e0a\u306e\u5c64\u306b\u6c34\u5e73\u65b9\u5411\u3068\u5782\u76f4\u306e\u4e21\u65b9\u3067\u7d71\u5408\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3064\u307e\u308a\u3001\u5358\u4e00\u306e\u56de\u8def\u306b\u63a5\u7d9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 3\u6b21\u5143\u7d71\u5408\u56de\u8def \uff083D-IC\uff09\u3002\u7570\u306a\u308b\u30a2\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u30ec\u30d9\u30eb\u9593\u306e\u5782\u76f4\u63a5\u7d9a\u306f\u3001\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30b9\u30eb\u30fc\u63a5\u89e6\uff08\u82f1\u8a9e\uff09\u306b\u3088\u3063\u3066\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u30b9\u30eb\u30fc\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30d0\u30a4\u30a2\u30b9 \uff09\u6709\u52b9\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u696d\u754c\u3067\u306f\u30013D\u7d71\u5408\u306f\u3001\u3088\u308a\u30b3\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u3067\u3088\u308a\u5f37\u529b\u306a\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\uff08\u300c\u30e0\u30fc\u30a2\u3088\u308a\u3082\u300d\uff09\u306e\u50be\u5411\u3092\u7d99\u7d9a\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6709\u671b\u306a\u30d1\u30b9\u3068\u3057\u3066\u53d6\u5f15\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1\u304c\u7d9a\u304d\u307e\u3059\u3002  \u30e1\u30a4\u30f3\u30c1\u30c3\u30d7\u30683\u3064\u306e\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u30c1\u30c3\u30d7\u306e3D\u7d71\u5408\u306e\u4f8b        (adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({});after-content-x43D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08Engl\u3002 3D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8 \uff09\u5358\u4e00\u306e\u4f4f\u5b85\u3067\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3092\u901a\u3057\u3066\u30b9\u30da\u30fc\u30b9\u3092\u7bc0\u7d04\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306f\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30a4\u30f3\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08SIP\uff09\u307e\u305f\u306f\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u30de\u30eb\u30c1\u30c1\u30c3\u30d7\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u3068\u3057\u3066\u77e5\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u500b\u3005\u306eICS\u306f\u5358\u4e00\u306e\u56de\u8def\u306b\u7d71\u5408\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u305b\u3093\u3002\u305d\u308c\u3089\u306f\u3001\u96fb\u6c17\u4fe1\u53f7\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u5916\u5074\u3068\u3001\u7570\u306a\u308b\u30cf\u30a6\u30b8\u30f3\u30b0\u306e\u56de\u8def\u57fa\u677f\u306b\u8a2d\u7f6e\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u5834\u5408\u306b\u5f15\u304d\u7d9a\u304d\u901a\u4fe1\u3057\u307e\u3059\u3002\u5bfe\u7167\u7684\u306b\u30013D-IC\u306f\u5358\u4e00\u306eIC\u306e\u3088\u3046\u306b\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u3059\u3079\u3066\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u3059\u3079\u3066\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u3001\u5782\u76f4\u304a\u3088\u3073\u6c34\u5e73\u65b9\u5411\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u65b9\u6cd5\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u30013D IC\u5185\u3067\u4e92\u3044\u306b\u901a\u4fe1\u3057\u307e\u3059\u3002\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u30013D-IC\u306f\u3001\u56de\u8def\u57fa\u677f\u306b\u5408\u308f\u305b\u3066\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30aa\u30f3\u30c1\u30c3\u30d7\u3068\u540c\u69d8\u306e3D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306b\u52d5\u4f5c\u3057\u307e\u3059\u3002 \u4ee5\u4e0b\u306f\u30013D\u7d71\u5408\u56de\u8def\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u306a4\u3064\u306e\u65b9\u6cd5\u3067\u3059\u3002\u30ea\u30b9\u30c8\uff1a        (adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({});after-content-x4\u30e2\u30ce\u30ea\u30b7\u30c3\u30af\u751f\u7523 \u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3068\u305d\u306e\u63a5\u7d9a\uff08\u914d\u7dda\uff09\u306f\u3001\u5358\u4e00\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u8cea\uff08WAEF\uff09\u306b\u5c64\u3067\u9069\u7528\u3055\u308c\u3001\u305d\u306e\u5f8c\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u30ab\u30c3\u30c8\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u5358\u4e00\u306e\u57fa\u8cea\u3057\u304b\u306a\u3044\u305f\u3081\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u30a2\u30e9\u30a4\u30e1\u30f3\u30c8\u3001\u7d50\u5408\u3001\u307e\u305f\u306f\u904e\u5270\u306a\u5b58\u5728\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3057\u307e\u305b\u3093\u3002\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3 [\u521d\u3081] \u901a\u5e38\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u751f\u7523\u306b\u306f\u975e\u5e38\u306b\u5927\u304d\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u6e29\u5ea6\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u306f\u73fe\u5728\u4f9d\u7136\u3068\u3057\u3066\u5236\u9650\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u3059\u3067\u306b\u88fd\u9020\u3055\u308c\u305f\u96fb\u6c17\u30e9\u30a4\u30f3\u304c\u7834\u58ca\u307e\u305f\u306f\u7834\u640d\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u30e2\u30ce\u30ea\u30b7\u30c3\u30af3D IC\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306f\u3001DARPA\u8cc7\u91d1\u306e\u5bc4\u4ed8\u306e\u4e00\u74b0\u3068\u3057\u3066\u30b9\u30bf\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30c9\u5927\u5b66\u3067\u7814\u7a76\u3055\u308c\u307e\u3057\u305f \u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30aa\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30d5\u30a1\u30fc -\u65b9\u6cd5 \u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u30012\u3064\u4ee5\u4e0a\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u8cea\uff08WAFERS\uff09\u306b\u69cb\u7bc9\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u305d\u306e\u5f8c\u6574\u5217\u3057\u3066\u7d50\u5408\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 3D-ICS\u306e\u7d50\u5408\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u6642\u3005\u7d50\u8ad6\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u3001\u7d50\u5408\u306e\u524d\u5f8c\u306b\u62e1\u5f35\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u5782\u76f4\u96fb\u6c17\u5316\u5408\u7269\uff08\u30bf\u30af\u30c8\u3092\u4ecb\u3057\u3066\uff09\u306f\u3001\u7d50\u5408\u524d\u306b\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u633f\u5165\u3057\u305f\u308a\u3001\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u304c\u88fd\u9020\u3055\u308c\u305f\u5f8c\u306b\u88fd\u9020\u3055\u308c\u305f\u308a\u3059\u308b\u3053\u3068\u3082\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u969c\u5bb3\u306f\u3001\u500b\u3005\u306e\u57fa\u677f\u307e\u305f\u306f\u8907\u6570\u306e\u57fa\u677f\u3092\u901a\u904e\u3057\u3001\u30a2\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u5c64\u3092\u4e00\u7dd2\u306b\u307e\u305f\u306f\u5916\u90e8\u7d50\u5408\u30d1\u30c3\u30c9\u3067\u63a5\u7d9a\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u306e\u5229\u70b9\u306f\u3001\u3059\u3079\u3066\u306eIC\u304c\u57fa\u677f\u4e0a\u3067\u4e26\u884c\u3057\u3066\u4e92\u3044\u306b\u63a5\u7d9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u6bd4\u8f03\u7684\u4f4e\u3044\u30ef\u30fc\u30af\u30ed\u30fc\u30c9\u3067\u3059\u3002\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30aa\u30f3\u30ef\u30fc\u30d5\u30a1\u30fc\u65b9\u6cd5\u306f\u30011\u3064\u3060\u3051\u304c\u3088\u308a\u591a\u304f\u306e\u53ce\u91cf\u3092\u6e1b\u3089\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059 n 3D-IC\u306e\u30d1\u30fc\u30c8\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u6b20\u9665\u304c\u3042\u308a\u30013D-IC\u5168\u4f53\u306b\u6b20\u9665\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u500b\u3005\u306e\u7d50\u5408\u30a8\u30e9\u30fc\u306f\u3001\u3059\u3079\u3066\u306e3D-IC\u3092\u4f7f\u7528\u3067\u304d\u306a\u304f\u306a\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u540c\u3058\u30b5\u30a4\u30ba\u3067\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u308a\u307e\u305b\u3093\u304c\u3001\u591a\u304f\u306e\u30a8\u30ad\u30be\u30c1\u30c3\u30af\u306a\u6750\u6599\uff08\u4f8b\u3048\u3070\u3001IIIV\u30cd\u30c3\u30af\u5c0e\u4f53\uff09\u3067\u306f\u3001CMOS\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u307e\u305f\u306fDRAM\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\uff08\u901a\u5e38300 mm\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\uff09\u3088\u308a\u3082\u304b\u306a\u308a\u5c0f\u3055\u304f\uff08\u901a\u5e38\u306f\u6700\u5927100 mm\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\uff09\u3001\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u30d8\u30c6\u30ed\u30b0\u30ca\u30b9\u306e3D\u7d71\u5408\u304c\u56f0\u96e3\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 \u30c0\u30a4\u30aa\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30d5\u30a1\u30fc -\u65b9\u6cd5 \u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u30012\u3064\u306e\u7570\u306a\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u677f\u4e0a\u306b\u69cb\u7bc9\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u57fa\u8cea\u306e1\u3064\u306f\u3001\u6642\u3005\u305d\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u6b21\u306b\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u304c\u4ed6\u306e\u57fa\u8cea\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u63c3\u3048\u3089\u308c\u3001\u7d50\u5408\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30aa\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30d5\u30a1\u30fc\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u3068\u540c\u69d8\u306b\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u62e1\u5f35\u3057\u3001\u30b9\u30eb\u30fc\u306e\u88fd\u9020\u3092\u7d50\u5408\u306e\u524d\u5f8c\u306b\u5b9f\u884c\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u30013D ICS\u304c\u5206\u96e2\u3055\u308c\u308b\u524d\u306b\u3001\u8ffd\u52a0\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u3092\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u306b\u7d71\u5408\u3059\u308b\u3053\u3068\u3082\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u30c0\u30a4\u30c0\u30a4 -\u65b9\u6cd5 \u96fb\u5b50\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f2\u3064\u4ee5\u4e0a\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u8cea\u306b\u57fa\u3065\u3044\u3066\u304a\u308a\u3001\u305d\u306e\u5f8c\u3001\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u304c\u6642\u3005\u6574\u5217\u3057\u3066\u7d50\u5408\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u90e8\u5206\u7684\u306a\u30c1\u30c3\u30d7\u3068\u30b9\u30eb\u30fc\u30bf\u30af\u30c8\u306e\u751f\u6210\u306f\u3001\u7d50\u5408\u306e\u524d\u5f8c\u306b\u884c\u3046\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u306e\u5927\u304d\u306a\u5229\u70b9\u306f\u3001\u5404\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u3092\u305d\u308c\u81ea\u4f53\u3067\u30c6\u30b9\u30c8\u3067\u304d\u308b\u3053\u3068\u3067\u3059\u3002\u305d\u306e\u305f\u3081\u3001\u8aa4\u3063\u305f\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3092\u65e9\u671f\u306b\u767a\u898b\u3057\u3066\u6574\u7406\u3067\u304d\u308b\u3053\u3068\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306b\u3057\u3066\u3001\u5358\u4e00\u306e\u8aa4\u3063\u305f\u30c1\u30c3\u30d7\u304c\u5b8c\u6210\u3057\u305f3D IC\u306e\u6a5f\u80fd\u3092\u9632\u3050\u3053\u3068\u3092\u3088\u308a\u3088\u304f\u9632\u3050\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 [2] \u3055\u3089\u306b\u30013D IC\u306e\u5404\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u306f\u4e8b\u524d\u306b\u7279\u5fb4\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u308b\u305f\u3081\u3001\u7279\u306b\u4f4e\u96fb\u529b\u6d88\u8cbb\u3067\u30e2\u30d0\u30a4\u30eb\u4f7f\u7528\u306a\u3069\u3001\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u3068\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u306b\u95a2\u3057\u3066\u6700\u9069\u306b\u6df7\u5408\u3055\u308c\u3001\u8abf\u6574\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u534a\u5c0e\u4f53\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u5f93\u6765\u306e\u30b9\u30b1\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u4fe1\u53f7\u671f\u9593\u3082\u6539\u5584\u3057\u307e\u3059\u3002\u305f\u3060\u3057\u3001\u4e00\u65b9\u3067\u306f\u3001\u6700\u5927\u306e\u96fb\u529b\u5bc6\u5ea6\u306b\u95a2\u3059\u308b\u5236\u9650\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u73fe\u5728\u306e\u88fd\u9020\u304a\u3088\u3073\u30c1\u30c3\u30d7\u8a2d\u8a08\u6280\u8853\u306e\u3055\u3089\u306a\u308b\u30b9\u30b1\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u304c\u3088\u308a\u56f0\u96e3\u306b\u306a\u308a\u3001\u4e00\u65b9\u3067\u306f\u3001\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3068\u306f\u7570\u306a\u308a\u3001\u96fb\u6c17\u63a5\u7d9a\u304c\u3088\u308a\u901f\u304f\u306a\u3063\u3066\u3044\u306a\u3044\u305f\u3081\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u305f\u3081\u3001\u5f93\u6765\u306e2D\u7d71\u5408\u56de\u200b\u200b\u8def\u3092\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3001\u7b2c3\u6b21\u5143\u3067\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u3055\u3089\u306b\u30b9\u30b1\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u306e\u8ab2\u984c\u3092\u7fd2\u5f97\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u30013D\u7d71\u5408\u56de\u8def\u304c\u63d0\u6848\u3055\u308c\u307e\u3057\u305f\u3002 [3] \u3053\u308c\u306f\u3001\u5e73\u9762\u914d\u7f6e\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u901a\u4fe1\u3092\u52a0\u901f\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u7d04\u675f\u3057\u307e\u3059\u3002 [4] \u591a\u304f\u306e\u91cd\u8981\u306a\u5229\u70b9\u306f\u3001\u6b21\u306e\u3088\u3046\u306a3D-IC\u306b\u95a2\u9023\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u3088\u308a\u4f4e\u3044\u5e8a\u30a8\u30ea\u30a2\uff1a 3D-ICS\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3068\u3001\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u3088\u308a\u4f4e\u3044\u9818\u57df\u306b\u3082\u3063\u3068\u6a5f\u80fd\u7684\u306a\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u304c\u9069\u5408\u3057\u307e\u3059\u3002 B.\u56de\u8def\u57fa\u677f\u4e0a\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u65b0\u3057\u3044\u4e16\u4ee3\u306e\u5c0f\u898f\u6a21\u3067\u5f37\u529b\u306a\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 \u30b3\u30b9\u30c8\u306e\u524a\u6e1b\uff1a \u30b5\u30a4\u30ba\u3068\u9054\u6210\u53ef\u80fd\u306a\u6700\u5c0f\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\u306f\u3001\u7d71\u5408\u56de\u8def\u306e\u7406\u8ad6\u7684\u306b\u6700\u5927\u9054\u6210\u53ef\u80fd\u306a\u53ce\u7387\u3092\u5236\u9650\u3057\u307e\u3059\u3002\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u3001\u3088\u308a\u5927\u304d\u306a2D IC\u306e\u5206\u5272\u306b\u3088\u308a\u3001\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u5c0f\u3055\u306a\u30b5\u30d6\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u5206\u5272\u3055\u308c\u30013D-ICS\u3067\u306e\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u306f\u53ce\u91cf\u3092\u5897\u52a0\u3055\u305b\u3001\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u88fd\u9020\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u524a\u6e1b\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u304c\u7d50\u5408\u524d\u306b\u6a5f\u80fd\u306b\u3064\u3044\u3066\u500b\u5225\u306b\u30c6\u30b9\u30c8\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u5834\u5408\u306b\u7279\u306b\u5f53\u3066\u306f\u307e\u308a\u307e\u3059\u3002 [5] [6] \u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u306e\u512a\u4f4d\u6027\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30aa\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30d5\u30a1\u30fc\u6cd5\u306b\u306f\u5c11\u306a\u304f\u9069\u7528\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u4e0d\u5747\u4e00\u306a\u7d71\u5408\uff1a 3D-ICS\u306f\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u90e8\u5206\u7684\u306a\u30c1\u30c3\u30d7\u3092\u7d71\u5408\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u500b\u3005\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u751f\u7523\u3092\u30c1\u30c3\u30d7\u3067\u4e00\u7dd2\u306b\u751f\u6210\u3059\u308b\u5834\u5408\u3088\u308a\u3082\u306f\u308b\u304b\u306b\u9ad8\u3044\u7a0b\u5ea6\u306b\u6700\u9069\u5316\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u7570\u306a\u308b\u4e92\u63db\u6027\u306e\u306a\u3044\u88fd\u9020\u6280\u8853\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u30923D-IC\u3067\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3053\u3068\u3092\u610f\u5473\u3057\u307e\u3059\u3002 [7] \u77ed\u3044\u4fe1\u53f7\u30d1\u30b9\u3068\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u306e\u4f4e\u4e0b\uff1a \u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u306e\u524a\u6e1b\u306f\u4e00\u822c\u306b\u3001\u30d0\u30c3\u30c6\u30ea\u30fc\u5bff\u547d\u306e\u5897\u52a0\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u5ec3\u71b1\u304c\u5c11\u306a\u304f\u306a\u308a\u3001\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u51b7\u5374\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u304c\u4f4e\u304f\u306a\u308a\u3001\u3088\u308a\u5c0f\u3055\u306a\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u305f\u3060\u3057\u3001\u71b1\u3092\u8f38\u9001\u3057\u306a\u3044\u3088\u3046\u306b\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u308b\u3053\u3068\u306f\u60aa\u5316\u3059\u308b\u50be\u5411\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u30013D-ics\u3067\u306f\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u304c\u4e00\u822c\u7684\u306b\u4f4e\u304f\u306a\u308a\u3001\u30ed\u30fc\u30ab\u30eb\u30d2\u30fc\u30c8\u30bb\u30f3\u30bf\u30fc\u306e\u767a\u751f\u306b\u3088\u308a\u591a\u304f\u306e\u6ce8\u610f\u3092\u6255\u3046\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3053\u3068\u3092\u5ff5\u982d\u306b\u7f6e\u3044\u3066\u304a\u304f\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u30b9\u30b1\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u306e\u4f9b\u7d66\u96fb\u5727\u306e\u4e00\u822c\u7684\u306a\u6e1b\u5c11\u306b\u52a0\u3048\u3066\u30013D-ICS\u306f\u3001\u3088\u308a\u77ed\u3044\u30b7\u30b0\u30ca\u30eb\u4f1d\u9054\u7d4c\u8def\u306b\u3088\u3063\u3066\u3088\u308a\u4f4e\u3044\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u3092\u9054\u6210\u3057\u307e\u3059\u3002\u73fe\u5728\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u6b8b\u3063\u3066\u3044\u308b\u4fe1\u53f7\u306e\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u306f\u300110\u301c100\u500d\u306b\u524a\u6e1b\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 [8] \u96fb\u6c17\u63a5\u7d9a\u306e\u77ed\u7e2e\u306f\u3001\u5bc4\u751f\u80fd\u529b\u304c\u5c11\u306a\u3044\u305f\u3081\u3001\u5fc5\u8981\u306a\u96fb\u529b\u6d88\u8cbb\u3082\u6e1b\u5c11\u3055\u305b\u307e\u3059\u3002 [9] \u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\/\u69cb\u9020\uff1a \u8ffd\u52a0\u306e\u5bf8\u6cd5\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3068\u3001\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u9ad8\u6b21\u3001\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u69cb\u9020\u307e\u305f\u306f\u8a2d\u8a08\u306e\u65b0\u3057\u3044\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 \u30d0\u30f3\u30c9\u5e45\uff1a 3D\u7d71\u5408\u306b\u3088\u308a\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u30ec\u30d9\u30eb\u9593\u306e\u591a\u6570\u306e\u5782\u76f4\u63a5\u7d9a\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u7570\u306a\u308b\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u6a5f\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u9593\u3067\u30d6\u30ed\u30fc\u30c9\u30d0\u30f3\u30c9\u30c7\u30fc\u30bf\u30d0\u30b9\u3092\u751f\u7523\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306e\u5178\u578b\u7684\u306a\u4f8b\u306f\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u30ad\u30e3\u30c3\u30b7\u30e5\u30e1\u30e2\u30ea\u304c\u914d\u7f6e\u3055\u308c\u308b\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3068\u30e1\u30e2\u30ea\u306e\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u914d\u7f6e\u306b\u3088\u308a\u3001128\u30d3\u30c3\u30c8\u307e\u305f\u306f256\u30d3\u30c3\u30c8\u306e\u73fe\u5728\u306e\u5178\u578b\u7684\u306a\u30d0\u30b9\u3088\u308a\u3082\u306f\u308b\u304b\u306b\u5927\u304d\u306a\u5e2f\u57df\u5e45\u306e\u30d0\u30b9\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 [\u5341] \u5927\u304d\u306a\u30d0\u30b9\u306f\u30e1\u30e2\u30ea\u30a6\u30a9\u30fc\u30eb\u306e\u554f\u984c\u3092\u7de9\u548c\u3057\u307e\u3059\u3001 [11] \u3053\u308c\u306f\u3001\u4eca\u65e5\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u304c\u3057\u3070\u3057\u3070\u30e1\u30e2\u30ea\u30a2\u30af\u30bb\u30b9\u3092\u5f85\u305f\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u3089\u306a\u3044\u305f\u3081\u3001\u5b9f\u969b\u306b\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u3092\u6d3b\u7528\u3067\u304d\u306a\u3044\u3068\u3044\u3046\u4e8b\u5b9f\u3092\u610f\u5473\u3057\u307e\u3059\u3002 \u3053\u306e\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306f\u65b0\u3057\u3044\u305f\u3081\u3001\u6b21\u306e\u3088\u3046\u306a\u65b0\u3057\u3044\u8ab2\u984c\u3092\u514b\u670d\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 \u53ce\u7387\uff1a \u8ffd\u52a0\u306e\u88fd\u9020\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u3054\u3068\u306b\u3001\u8ffd\u52a0\u306e\u6b20\u9665\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u304c\u9ad8\u307e\u308a\u307e\u3059\u3002 3D-IC\u304c\u6b63\u5e38\u306b\u5b9f\u88c5\u3055\u308c\u308b\u50be\u5411\u306b\u3082\u304b\u304b\u308f\u3089\u305a\u3001\u5546\u696d\u7684\u306b\u6b63\u5e38\u306b\u5b9f\u88c5\u3055\u308c\u308b\u305f\u3081\u306b\u306f\u3001\u6b20\u9665\u3092\u8a31\u5bb9\u307e\u305f\u306f\u4fee\u7406\/\u4fee\u7406\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u5168\u4f53\u3068\u3057\u3066\u3001\u3059\u3079\u3066\u306e\u6280\u8853\u3068\u540c\u69d8\u306b\u3001\u4f7f\u7528\u304c\u5546\u696d\u7684\u306b\u4fa1\u5024\u304c\u3042\u308b\u3088\u3046\u306b\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\u3092\u4f4e\u4e0b\u3055\u305b\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 [12\u756a\u76ee] \u71b1\u306e\u767a\u9054\u3068\u56fd\u5916\u8ffd\u653e\uff1a \u30c1\u30c3\u30d7\u3067\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3055\u308c\u308b\u640d\u5931\u306e\u640d\u5931\u306f\u3001\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u5185\u3067\u6d88\u6563\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u7279\u306b\u71b1\u30db\u30c3\u30c8\u30b9\u30dd\u30c3\u30c8\u3092\u8003\u616e\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 \u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u306e\u8907\u96d1\u3055\uff1a 3D\u7d71\u5408\u306e\u3059\u3079\u3066\u306e\u5229\u70b9\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u8a2d\u8a08\u624b\u6cd5\u3068\u65b0\u3057\u3044CAD\u30c4\u30fc\u30eb\u3092\u8981\u6c42\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 [13] TSV  – \u30aa\u30fc\u30d0\u30fc\u30d8\u30c3\u30c9\u306e\u7bc0\u7d04\uff1a \u30b2\u30fc\u30c8\u69cb\u9020\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u3001TSV\u306f\u5927\u304d\u304f\u3001\u56de\u8def\u30ec\u30a4\u30a2\u30a6\u30c8\u306b\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u307e\u3059\u3002 45 nm\u306e\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u30ce\u30fc\u30c9\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3068\u3001TSV\u306f\u7d0410 \u00b5m\u00b2\u306e\u9762\u7a4d\u3092\u5360\u6709\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u7d0450\u30b2\u30fc\u30c8\u69cb\u9020\u306e\u9762\u7a4d\u306b\u5bfe\u5fdc\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 [14] \u3055\u3089\u306b\u3001\u914d\u7f6e\u30a8\u30ea\u30a2\u306e\u751f\u7523\u306b\u306f\u8ffd\u52a0\u306e\u30b9\u30da\u30fc\u30b9\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001TSV\u306e\u30b9\u30da\u30fc\u30b9\u8981\u4ef6\u3092\u5897\u3084\u3059\u4ed6\u306eIC\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u5236\u9650\u4ed8\u304d\u30be\u30fc\u30f3\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u9078\u629e\u3057\u305f\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u3001TSVS\u306f\u30ec\u30a4\u30a2\u30a6\u30c8\u30ea\u30bd\u30fc\u30b9\u306e\u4e00\u90e8\u3092\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u3057\u307e\u3059\u3002 [14] First-SVS\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3068\u3001\u30e1\u30bf\u5316\u524d\u306b\u88fd\u9020\u3055\u308c\u308b\u305f\u3081\u3001\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30ec\u30d9\u30eb\u3092\u5360\u6709\u3057\u3001\u914d\u7f6e\u969c\u58c1\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u307e\u3059\u3002\u5bfe\u7167\u7684\u306b\u3001TSV\u306f\u3001via-last SVS\u3067\u306e\u91d1\u5c5e\u5316\u5f8c\u306b\u751f\u6210\u3055\u308c\u3001\u30c1\u30c3\u30d7\u3092\u901a\u904e\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306b\u3057\u3066\u3001\u5f7c\u3089\u306f\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30ec\u30d9\u30eb\u3068\u30e1\u30bf\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u4e21\u65b9\u3092\u8a3c\u660e\u3057\u3001\u914d\u7f6e\u3068\u30eb\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u969c\u5bb3\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u307e\u3059\u3002 TSV\u306e\u4f7f\u7528\u306f\u4e00\u822c\u306b\u4fe1\u53f7\u7dda\u306e\u9577\u3055\u306e\u6e1b\u5c11\u306b\u95a2\u9023\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u3053\u308c\u306f\u5b9f\u969b\u306b\u306fTSV\u306e\u6570\u3068\u305d\u306e\u7279\u6027\u306b\u4f9d\u5b58\u3057\u307e\u3059\u3002 [14] \u3055\u3089\u306b\u3001\u30e9\u30a4\u30f3\u306e\u9577\u3055\u306e\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u4e0a\u306e\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30a4\u30a2\u30a6\u30c8\u306e\u7c92\u5ea6\u304c\u5f71\u97ff\u3057\u307e\u3059\u3002\u901a\u5e38\u3001\u4e2d\u7a0b\u5ea6\uff0820\u301c100\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u306e\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\uff09\u3068\u30e9\u30d5\uff08\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u5206\u5272\uff09\u306e\u7c92\u5ea6\u304c\u6e1b\u5c11\u3057\u307e\u3059\u304c\u3001\u5fae\u7d30\u306a\uff08\u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u5206\u5272\uff09\u306e\u7c92\u5ea6\u304c\u5897\u52a0\u3057\u307e\u3059\u3002 [14] \u56de\u8def\u306e\u691c\u67fb\uff1a \u9ad8\u3044\u5168\u4f53\u7684\u306a\u51fa\u529b\u3092\u9054\u6210\u3057\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u524a\u6e1b\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u306f\u3001\u72ec\u7acb\u3057\u305f\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u500b\u5225\u306e\u8a66\u9a13\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002 [15] [16] \u305f\u3060\u3057\u30013D-IC\u306e\u96a3\u63a5\u3059\u308b\u30a2\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u5c64\u9593\u306e\u5bc6\u63a5\u306a\u7d71\u5408\u306b\u3088\u308a\u3001\u540c\u3058\u56de\u8def\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u306e\u7570\u306a\u308b\u90e8\u5206\u306e\u9593\u306b\u304b\u306a\u308a\u306e\u91cf\u306e\u4fe1\u53f7\u63a5\u7d9a\u304c\u3082\u305f\u3089\u3055\u308c\u3001\u7570\u306a\u308b\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u5206\u5272\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u5fc5\u8981\u306a\u5b9f\u88c5\u306b\u3088\u3063\u3066\u5c0e\u5165\u3055\u308c\u308b\u5927\u898f\u6a21\u306a\u30aa\u30fc\u30d0\u30fc\u30d8\u30c3\u30c9\u3068\u306f\u5225\u306b\u3001\u305d\u306e\u3088\u3046\u306a\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u306e\u90e8\u5206\u3001\u4f8b\u3048\u3070B.\u5f93\u6765\u306e\u6280\u8853\u306b\u4f9d\u5b58\u3057\u306a\u3044\u4e57\u6570\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u7279\u306b\u6642\u9593\u578b\u306e\u30d1\u30b9\u306b\u9069\u7528\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u6a19\u6e96\u306e\u6b20\u843d\uff1a \u73fe\u5728\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u8cea\u554f\u304c\u65e2\u306b\u5bfe\u51e6\u3055\u308c\u3066\u3044\u305f\u3068\u3057\u3066\u3082\u3001TSV\u30d9\u30fc\u30b9\u306e3D-IC\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u3001\u305d\u308c\u3089\u306e\u5236\u4f5c\u3068\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306b\u306f\u308f\u305a\u304b\u306a\u6a19\u6e96\u3057\u304b\u3042\u308a\u307e\u305b\u3093\u3002 [17] [18] \u3055\u3089\u306b\u3001\u73fe\u5728\u8abf\u67fb\u4e2d\u306e\u591a\u304f\u306e\u7d71\u5408\u30aa\u30d7\u30b7\u30e7\u30f3\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 B.\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1 [19] \u7d4c\u7531 \uff08\u91d1\u5c5e\u5316\u30ec\u30d9\u30eb\u306b\u5fdc\u3058\u305fTSV\u751f\u7523\uff09\u3001 \u5148\u306b\u9032\u307f\u307e\u3059 \uff08\u91d1\u5c5e\u5316\u524d\u306eTSV\u751f\u7523\uff09\u304a\u3088\u3073 \u30df\u30c9\u30eb\u7d4c\u7531 \uff08\u30e1\u30bf\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u5e73\u884c\u306a\u751f\u7523\uff09\u3001\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30dd\u30fc\u30b6\u30fc\u3001 [20] \u76f4\u63a5\u30dc\u30f3\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\u306a\u3069\u3002 \u4e0d\u5747\u4e00\u306a\u7d71\u5408\u306e\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\uff1a \u4e0d\u5747\u4e00\u306a\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u5834\u5408\u3001\u8907\u6570\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u914d\u4fe1\u9045\u5ef6\u306f\u3001\u88fd\u54c1\u5168\u4f53\u306e\u9045\u5ef6\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u6c7a\u5b9a\u7684\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u30013D-IC\u306b\u95a2\u4e0e\u3059\u308b\u5404\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u53ce\u5165\u306f\u9045\u308c\u307e\u3059\u3002 \u500b\u3005\u306e\u30b5\u30d6\u30c1\u30c3\u30d7\u3078\u306e\u95a2\u6570\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306e\u5206\u5272\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u3068\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7d71\u5408\u3068\u3044\u30462\u3064\u306e\u8a2d\u8a08\u65b9\u6cd5\u3092\u533a\u5225\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7d71\u5408\u306f\u3001\u5e83\u7bc4\u306a\u8ab2\u984c\u306b\u76f4\u9762\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u73fe\u5728\u3001\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7d71\u5408\u3088\u308a\u3082\u5b9f\u7528\u7684\u3067\u306f\u306a\u3044\u3088\u3046\u3067\u3059\u3002 [21] [22] Table of Contents       (adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({});after-content-x4\u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u7d71\u5408 [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30d9\u30eb\u7d71\u5408 [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u6587\u5b66 [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] Web\u30ea\u30f3\u30af [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u500b\u5225\u306b [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u7d71\u5408 [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u56de\u8def\u304c\u30b2\u30fc\u30c8\u307e\u305f\u306f\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30ec\u30d9\u30eb\u3067\u7d71\u5408\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u5834\u5408\u3001\u6a19\u6e96\u30bb\u30eb\uff08\u95a2\u6570\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\uff09\u306f\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u5206\u5272\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u7d71\u5408\u30d0\u30ea\u30a2\u30f3\u30c8\u306f\u3001\u30e9\u30a4\u30f3\u30d1\u30b9\u306e\u77ed\u7e2e\u3068\u512a\u308c\u305f\u67d4\u8edf\u6027\u3092\u7d04\u675f\u3057\u307e\u3059\u3002\u305f\u3060\u3057\u3001\u3088\u308a\u77ed\u3044\u30e9\u30a4\u30f3\u30d1\u30b9\u306e\u5229\u70b9\u306f\u3001\u30b5\u30d6\u6a5f\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u304c\u7279\u5b9a\u306e\u30b5\u30a4\u30ba\u3092\u4e0b\u56de\u3089\u306a\u3044\u5834\u5408\u306b\u306e\u307f\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u4e00\u65b9\u3001\u90e8\u5206\u7684\u306a\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u9593\u306e\u5316\u5408\u7269\u5168\u4f53\u3067\u5fc5\u8981\u306a\u6570\u306e\u5fc5\u8981\u306a\u6570\u304c\u9ad8\u3044\u304b\u3089\u3067\u3059\u3002\u591a\u6570\u306e\u904e\u5270\u306a\u904e\u5270\u306a\u4f5c\u52d5\u306f\u3001\u9ad8\u4fa1\u306aCHI\u30a8\u30ea\u30a2\u3092\u5229\u7528\u3057\u3001\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u306e\u8907\u96d1\u3055\u3092\u9ad8\u3081\u307e\u3059\u3002\u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7d71\u5408\u306b\u306f\u3001\u73fe\u5728\u5229\u7528\u3067\u304d\u306a\u30443D\u30d7\u30ec\u30a4\u30b9\u30a2\u30f3\u30c9\u30eb\u30fc\u30c8\u30bd\u30d5\u30c8\u30a6\u30a7\u30a2\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002 [22] \u3055\u3089\u306b\u3001\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u3078\u306e\u95a2\u6570\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306e\u5206\u5e03\u306f\u30013D IC\u304c\u307e\u3068\u3081\u3089\u308c\u308b\u524d\u306b\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u3092\u5b8c\u5168\u306b\u30c6\u30b9\u30c8\u3067\u304d\u306a\u3044\u3053\u3068\u3092\u610f\u5473\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306b\u3057\u3066\u3001\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u4e0a\u306e\u9818\u57df\u306e\u6545\u969c\u306b\u3088\u308a\u30013D IC\u5168\u4f53\u306e\u6545\u969c\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u826f\u597d\u306a\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u304c\u767a\u751f\u3057\u3001\u53ce\u91cf\u304c\u3055\u3089\u306b\u4f4e\u4e0b\u3057\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u306f\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u5909\u52d5\u3001\u7279\u306b\u90e8\u5206\u30c1\u30c3\u30d7\u9593\u306e\u5909\u52d5\u306e\u5f71\u97ff\u3082\u5897\u52a0\u3055\u305b\u307e\u3059\u3002\u3057\u305f\u304c\u3063\u3066\u3001\u540c\u3058\u56de\u8def\u306e2D-IC\u3088\u308a\u30823D\u30ec\u30a4\u30a2\u30a6\u30c8\u306e\u5834\u5408\u3001\u53ce\u91cf\u306f\u4f4e\u304f\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 [23] \u3055\u3089\u306b\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7d71\u5408\u306b\u3088\u308a\u3001\u7279\u306b\u65e2\u5b58\u306eIP\u30b3\u30a2\u3068EDA\u30bd\u30d5\u30c8\u30a6\u30a7\u30a2\u306f\u73fe\u57283D\u7d71\u5408\u306b\u5229\u7528\u3067\u304d\u306a\u3044\u305f\u3081\u3001\u65e2\u5b58\u306e\u8a2d\u8a08\u306e\u518d\u8a2d\u8a08\u3092\u5f37\u5236\u3057\u307e\u3059\u3002 \u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30d9\u30eb\u7d71\u5408 [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u3067\u306f\u3001\u5b8c\u5168\u306a\u6a5f\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306e\u307f\u304c\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u5206\u6563\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u6a5f\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306b\u306f\u4e3b\u306b\u307b\u3068\u3093\u3069\u306e\u5c0e\u4f53\u30cd\u30c3\u30c8\u30ef\u30fc\u30af\u304c\u542b\u307e\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u5c11\u6570\u306e\u300c\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u300d\u63a5\u7d9a\u306b\u30ea\u30f3\u30af\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u305f\u3081\u3001\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u7d71\u5408\u306f\u3001\u904e\u5270\u306a\u30a8\u30f3\u30af\u30ed\u30fc\u30b8\u30e3\u306e\u524a\u6e1b\u3092\u7d04\u675f\u3057\u307e\u3059\u3002\u4e0d\u5747\u4e00\u306a\u30b7\u30f3\u30b0\u30eb\u30c1\u30c3\u30d7\u304c\u7d44\u307f\u5408\u308f\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b3D\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001\u9ad8\u901f\u307e\u305f\u306f\u767a\u96fb\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u3001\u7570\u306a\u308b\u30b9\u30c8\u30ec\u30fc\u30b8\u30bf\u30a4\u30d7\u3001\u30a2\u30ca\u30ed\u30b0\u3001HF\u56de\u8def\u306a\u3069\u306e\u305f\u3081\u306b\u7570\u306a\u308b\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u30ce\u30fc\u30c9\u3067\u7570\u306a\u308b\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3057\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u3053\u306e\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306f\u3001\u73fe\u5728\u306e2D\u304b\u30893D-IC\u306e\u8a2d\u8a08\u304b\u3089\u306e\u79fb\u884c\u3092\u4fc3\u9032\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u57fa\u672c\u7684\u306b\u30013D\u5bfe\u5fdc\u30bd\u30d5\u30c8\u30a6\u30a7\u30a2\u30c4\u30fc\u30eb\u306f\u3001\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u3078\u306e\u6a5f\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306e\u5206\u5e03\u3068\u71b1\u5206\u6790\u306b\u306e\u307f\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002 [24] \u305d\u308c\u305e\u308c\u306e\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306f\u3001\u5229\u7528\u53ef\u80fd\u306a\uff08\u304a\u305d\u3089\u304f\u9069\u5fdc\u3057\u305f\uff092D\u30c4\u30fc\u30eb\u30682D\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u958b\u767a\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u5229\u7528\u53ef\u80fd\u306a2D-IP\u30b3\u30a2\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3084\u3059\u304f\u306a\u308a\u3001IP\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u3092\u518d\u8a2d\u8a08\u3057\u3066\u305d\u308c\u3089\u306b\u57cb\u3081\u8fbc\u3080\u306e\u3067\u306f\u306a\u304f\u3001\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u9593\u306e\u7a7a\u304d\u30b9\u30da\u30fc\u30b9\u306b\u7fa9\u52d9\u7684\u306a\u30b9\u30eb\u30fc\u30b3\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u3092\u914d\u7f6e\u3059\u308b\u306e\u304c\u7c21\u5358\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u4fe1\u983c\u3067\u304d\u308bIP\u30b3\u30a2\u306e\u5e45\u5e83\u3044\u53ef\u7528\u6027\u306b\u5f79\u7acb\u3061\u307e\u3059\u3002 [21] \uff08\u5f8c\u7d9a\u306e\uff09\u30c6\u30b9\u30c8\u53ef\u80fd\u6027\u306e\u305f\u3081\u3060\u3051\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u9818\u57df\u306f\u3001IP\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306e\u91cd\u8981\u306a\u90e8\u5206\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u30013D\u56de\u8def\u3067\u306e\u30c6\u30b9\u30c8\u3092\u5bb9\u6613\u306b\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4f7f\u7528\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u591a\u304f\u306e\u91cd\u8981\u306a\u30d1\u30b9\u30922D\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306b\u30a4\u30f3\u30b9\u30c8\u30fc\u30eb\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b9\u30eb\u30fc\u306e\u751f\u6210\u306e\u5909\u52d5\u3068\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u9593\u3067\u306e\u53ce\u91cf\u3078\u306e\u5f71\u97ff\u304c\u5236\u9650\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 2004\u5e74\u3001Intel\u306f\u5f7c\u306ePentium 4-CPU\u306e3D\u30d0\u30fc\u30b8\u30e7\u30f3\u3092\u767a\u8868\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002 [25] \u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f\u30c1\u30c3\u30d7\u306f2\u3064\u306e\u500b\u5225\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u3067\u4f5c\u3089\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u30da\u30fc\u30b8\u306f\u305d\u308c\u305e\u308c\u30a2\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3067\u4e92\u3044\u306b\u5909\u308f\u308a\u3001\u63a5\u7d9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u69cb\u9020\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u5bc6\u5ea6\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u80cc\u9762\u3078\u306e\u63a5\u7d9a\u306f\u3001\u5916\u90e8\u4fe1\u53f7\u63a5\u7d9a\u3068\u96fb\u6e90\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u307e\u3057\u305f\u3002 3D\u3067\u306e\u914d\u7f6e\u8a08\u753b\u3068\u914d\u7dda\u8a08\u753b\u306e\u305f\u3081\u306b\u3001\u8a2d\u8a08\u8005\u306f\u3001\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u3068\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u306e\u6539\u5584\u3092\u76ee\u7684\u3068\u3057\u3066\u3001\u5404\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u6a5f\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u3092\u624b\u52d5\u3067\u6ce8\u6587\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u5927\u578b\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u6027\u80fd\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306e\u5206\u5272\u3068\u614e\u91cd\u306a\u65b0\u3057\u3044\u914d\u7f6e\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b5\u30fc\u30de\u30eb\u30db\u30c3\u30c8\u30b9\u30dd\u30c3\u30c8\u3092\u5236\u9650\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 3D\u8a2d\u8a08\u306b\u3088\u308a\u30012D-Pentium-4\u306e\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u306e\u5897\u52a0\u304c15\uff05\uff08\u53d6\u308a\u5916\u3057\u53ef\u80fd\u306a\u30d1\u30a4\u30d7\u30e9\u30a4\u30f3\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u305f\u3081\uff09\u3068\u7701\u30a8\u30cd\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u300115\uff05\uff08\u53d6\u308a\u5916\u3057\u53ef\u80fd\u306a\u30ea\u30d4\u30fc\u30bf\u30fc\u3068\u914d\u7dda\u306e\u52aa\u529b\u304c\u6e1b\u5c11\u3057\u305f\u305f\u3081\uff09\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002 Teraflop Research\u30c1\u30c3\u30d7\u306f2007\u5e74\u306bIntel\u306b\u3088\u3063\u3066\u5c0e\u5165\u3055\u308c\u3001\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f\u30e1\u30e2\u30ea\u30e6\u30cb\u30c3\u30c8\u3092\u5099\u3048\u305f\u5b9f\u9a13\u7684\u306a80\u30b3\u30a2\u8a2d\u8a08\u3067\u3059\u3002\u30e1\u30e2\u30ea\u5e2f\u57df\u5e45\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u304c\u9ad8\u3044\u305f\u3081\u3001\u5f93\u6765\u306eIO\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1\u306b\u306f10\u301c25 W\u304c\u5fc5\u8981\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 [15] \u6539\u5584\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001Intel\u30c7\u30b6\u30a4\u30ca\u30fc\u306f\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30b9\u30eb\u30fc\u30b3\u30f3\u30bf\u30af\u30c8\u306b\u57fa\u3065\u3044\u3066\u30b9\u30c8\u30ec\u30fc\u30b8\u30d0\u30b9\u3092\u5b9f\u88c5\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u5404\u30b3\u30a2\u306f\u300112 gb\/s\u63a5\u7d9a\u3092\u4ecb\u3057\u3066SRAM\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u30b9\u30c8\u30ec\u30fc\u30b8\u30ec\u30d9\u30eb\u306b\u63a5\u7d9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 1 Tb\/s\u306e\u7bc4\u56f2\u304c\u3042\u308a\u30012.2 W\u306e\u307f\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002 \u30ed\u30c1\u30a7\u30b9\u30bf\u30fc\u5927\u5b66\u306e\u30a8\u30d3\u30fc\u30fb\u30d5\u30ea\u30fc\u30c9\u30de\u30f3\u6559\u6388\u5468\u8fba\u306e\u5f93\u696d\u54e1\u307e\u305f\u306f\u5b66\u751f\u306b\u3088\u3063\u3066\u30012008\u5e74\u306b3D\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u306e\u3088\u308a\u5b66\u8853\u7684\u306a\u5b9f\u88c5\u304c\u767a\u8868\u3055\u308c\u307e\u3057\u305f\u3002\u56de\u8def\u306f1.4 GHz\u306e\u30af\u30ed\u30c3\u30af\u5468\u6ce2\u6570\u3067\u52d5\u4f5c\u3057\u3001\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f\u30c1\u30c3\u30d7\u9593\u3067\u6700\u9069\u5316\u3055\u308c\u305f\u5782\u76f4\u51e6\u7406\u306e\u305f\u3081\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u307e\u3057\u305f\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u5f93\u6765\u306e\u56de\u8def\u304c1\u3064\u306e\u30ec\u30d9\u30eb\u3067\u306f\u9054\u6210\u3067\u304d\u306a\u30443D\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u30b9\u30ad\u30eb\u304c\u5f97\u3089\u308c\u308b\u306f\u305a\u3067\u3059\u3002 [26] 3\u6b21\u5143\u56de\u8def\u306e\u751f\u6210\u306b\u304a\u3051\u308b\u8ab2\u984c\u306f\u3001\u3059\u3079\u3066\u306e\u30ec\u30d9\u30eb\u304c\u3001\u500b\u3005\u306e\u30ec\u30d9\u30eb\u9593\u3067\u5c0b\u554f\u3055\u308c\u308b\u60c5\u5831\u306a\u3057\u3067\u8abf\u548c\u3057\u3066\u90aa\u9b54\u3055\u308c\u305a\u306b\u6a5f\u80fd\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3057\u305f\u3002 [27] \u30bd\u30c9\u30e0 [28] 2D\u304a\u3088\u30733D IC\u306e\u30b7\u30df\u30e5\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u4f7f\u7528\u3067\u304d\u308b\u30aa\u30fc\u30d7\u30f3\u30bd\u30fc\u30b9CAD\u30d7\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u3067\u3059\u3002\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u306b\u3082\u4f7f\u7528\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 [29] \u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u624b\u6cd5\u3068\u8a2d\u8a08\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u30fc\u306b\u57fa\u3065\u3044\u3066\u3001\u30b5\u30a4\u30ba\u3001\u914d\u7dda\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u6570\u30012D\/3D\u30c1\u30c3\u30d7\u306e\u914d\u7dda\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u6700\u9069\u306a\u30b5\u30a4\u30ba\u3092\u4e88\u6e2c\u3059\u308b\u305f\u3081\u3002\u30e6\u30fc\u30b6\u30fc\u306f\u30b9\u30b1\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u306e\u50be\u5411\u3092\u8abf\u67fb\u3057\u3001\u30d7\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u30c1\u30c3\u30d7\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u3092\u6700\u9069\u5316\u3059\u308b\u3053\u3068\u3082\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u6587\u5b66 [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u69d8\u3005  \u30d5\u30a3\u30ea\u30c3\u30d7\u30fb\u30b0\u30e9\u30c3\u30b0\u3001\u30af\u30ea\u30b9\u30c8\u30d5\u30a1\u30fc\u30fb\u30d0\u30a6\u30a2\u30fc\u3001\u30d4\u30fc\u30bf\u30fc\u30fb\u30e9\u30e0\uff1a 3D\u7d71\u5408\u56de\u8def\u306e3D\u7d71\u5408\u3001\u6280\u8853\u3001\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u30cf\u30f3\u30c9\u30d6\u30c3\u30af\u3002 Vol\u30021\u304a\u3088\u3073Vol\u30022\u3001Wiley-VCH\u3001Weinheim 2008\u3001ISBN 978-3-527-32034-9\u3002 Yuan Xie\u3001Jason Cong\u3001Sachin Sapatnekar\uff1a 3\u6b21\u5143\u7a4d\u5206\u56de\u8def\u8a2d\u8a08\uff1aEDA\u3001\u8a2d\u8a08\u304a\u3088\u3073\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3002 Springs\u30012009\u3001ISBN 978-1-4419-0783\u3002 \u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08S-CSP\uff09\u306e\u9032\u6b69\u306f\u3001\u30ef\u30a4\u30e4\u30ec\u30b9\u304a\u3088\u3073\u30cf\u30f3\u30c9\u30d8\u30eb\u30c9\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u7528\u306e\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u6a5f\u80fd\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u30db\u30ef\u30a4\u30c8\u30da\u30fc\u30d1\u30fc UV\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8a55\u4fa1\u3068\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306e\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u8a2d\u8a08\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u30db\u30ef\u30a4\u30c8\u30da\u30fc\u30d1\u30fc \u3002 Peter Ramm\u3001Armin Klumpp\u3001Josef Weber\u3001Maaike M. V. Taklo\uff1a \u30e0\u30fc\u30a2\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u4ee5\u4e0a\u306e3D\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30aa\u30f3\u30c1\u30c3\u30d7\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc \u3002\u306e\uff1a \u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc \u3002 \u30d0\u30f3\u30c9  16 \u3001 \u3044\u3044\u3048\u3002  7 \u30012009\u5e74\u3001 S.  1051\u20131055 \u3001doi\uff1a 10.1007\/s00542-009-0976-1 \uff08\u82f1\u8a9e\uff09\u3002  \u30d4\u30fc\u30bf\u30fc\u30fb\u30e9\u30e0\u3001\u30b8\u30a7\u30fc\u30e0\u30ba\u30fb\u30b8\u30a2\u30f3\u30fb\u30c1\u30a2\u30f3\u30fb\u30eb\u30fc\u3001\u30de\u30fc\u30b1\u30fbM\u30fbV\u30fb\u30bf\u30af\u30ed\uff08hrsg\u3002\uff09\uff1a \u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30dc\u30f3\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u30cf\u30f3\u30c9\u30d6\u30c3\u30af \u3002 Willee-VCH\u30012012\u3001ISBN 978-3-527-327-3264-4\u3001\u7b2c15\u7ae0\uff1a 3\u6b21\u5143\u7d71\u5408 \uff08\u82f1\u8a9e\uff09\u3002  Jens Lienig\u3001Manfred Dietrich\uff08\u7de8\uff09\uff1a \u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u7d71\u54083D\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u30c9\u30e9\u30d5\u30c8\u3057\u307e\u3059 \u3002 Springs\u30012012\u3001ISBN 978-3-642-30571-9\u3002 \u53ef\u80fd\u306a\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3  2007\u5e74\u30013D-FPGA\uff1aMingjie Lin\u3001Abbas El Gamal\u3001Yi-Chang Lu\u3001Simon Wong\uff1a \u30e2\u30ce\u30ea\u30b7\u30c3\u30af\u306b\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f3D-FPGA\u306e\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u306e\u5229\u70b9 \u3002\u306e\uff1a 2006\u5e74\u306eACM\/SIGDA\u30d5\u30a3\u30fc\u30eb\u30c9\u30d7\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u53ef\u80fd\u306a\u30b2\u30fc\u30c8\u30a2\u30ec\u30a4\u306b\u95a2\u3059\u308b\u7b2c14\u56de\u56fd\u969b\u30b7\u30f3\u30dd\u30b8\u30a6\u30e0\u306e\u8b70\u4e8b\u9332 \u3002 ACM\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u7c73\u56fd2006\u3001ISBN 1-59593-292-5\u3001 S.  113\u2013122 \u3001doi\uff1a 10.1145\/1117201.1117219 \u3002  2010\u5e74\u3001\u30d4\u30fc\u30bf\u30fc\u30e9\u30e0u\u3002 a\u3002\uff1a 3D\u7d71\u5408\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\uff1a\u30b9\u30c6\u30fc\u30bf\u30b9\u3068\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u958b\u767a \u3002 IEEE\u30012010\u3001ISBN 978-1-4244-6662-7\u3001 S.  9\u201316 \u3001doi\uff1a 10.1109 \/ esscirc.2010.5619857 \u3002  ‘ 3D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u304b\u30893D IC\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u307e\u3067\u306e\u7b2c3\u4e16\u4ee3\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b \u300c\u3001Lee Smith\u3001Amkor Technology\u3002\u3053\u306e\u8a18\u4e8b\u306f\u3082\u3068\u3082\u30682010\u5e747\u67086\u65e5\u3001Future Fab International Issue 34\u306b\u63b2\u8f09\u3055\u308c\u307e\u3057\u305f ‘ \u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08S-CSP\uff09\u306e\u9032\u6b69\u306f\u3001\u30ef\u30a4\u30e4\u30ec\u30b9\u304a\u3088\u3073\u30cf\u30f3\u30c9\u30d8\u30eb\u30c9\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306e\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u6a5f\u80fd\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059 “\u3001 \u767d\u66f8 ‘ UV\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8a55\u4fa1\u3068\u3001\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306e\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u8a2d\u8a08\u306e\u4fe1\u983c\u6027 “\u3001 \u767d\u66f8 ‘ \u30d5\u30ea\u30c3\u30d7\u30c1\u30c3\u30d7\u30683D IC\u306e\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u306e\u96fb\u6c17\u99c6\u52d5\u3068\u73fe\u5728\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30ab\u30eb\u5bb9\u91cf\u306b\u5f71\u97ff\u3059\u308b\u8981\u56e0 “\u3001 \u767d\u66f8 ‘ \u6b21\u4e16\u4ee3\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff08POP\uff09\u306e\u6a5f\u68b0\u7684\u8cc7\u683c\u306e\u305f\u3081\u306e\u5171\u540c\u30d7\u30ed\u30b8\u30a7\u30af\u30c8\u3068\u3001\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u4ecb\u3057\u3066\u4ecb\u3057\u3066 “\u3001 \u767d\u66f8 ‘ \u9ad8\u5bc6\u5ea6\u30dd\u30c3\u30d7\uff08\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30aa\u30f3\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff09\u3068\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30b9\u30bf\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u958b\u767a “\u3001 \u767d\u66f8 Web\u30ea\u30f3\u30af [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u9078\u629e\u3057\u305f\u30d7\u30ec\u30b9\u8a18\u4e8b  \u500b\u5225\u306b [ \u7de8\u96c6 | \u30bd\u30fc\u30b9\u30c6\u30ad\u30b9\u30c8\u3092\u7de8\u96c6\u3057\u307e\u3059 ] \u2191  \u30e2\u30ce\u30ea\u30b7\u30c3\u30af3D\u306e\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3 \u3002 Monolithic 3d Inc.  \u2191  3D\u7d71\u5408\uff1a\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u306e\u9769\u547d \u3002 Real World Technologies\u30012\u3002MAI2007\u3002  \u2191  3D\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3001\u30b9\u30bf\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30b3\u30a2 \u3002 \u958b\u767a\u8005\u306f\u5c0f\u5c4b\u3002 2005\u5e749\u670820\u65e5\u30011\u30da\u30fc\u30b8\u3002  \u2191  3D\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3001\u30b9\u30bf\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30b3\u30a2 \u3002 \u958b\u767a\u8005\u306f\u5c0f\u5c4b\u3002 2005\u5e749\u670820\u65e5\u30012\u30da\u30fc\u30b8\u3002  \u2191  Xiangyu Dong\u3001Yuan Xie\uff1a 3D IC\u306e\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u30b3\u30b9\u30c8\u5206\u6790\u3068\u8a2d\u8a08\u63a2\u7d22\u3002 \u306e\uff1a \u30a2\u30b8\u30a2\u304a\u3088\u3073\u5357\u592a\u5e73\u6d0b\u8a2d\u8a08\u81ea\u52d5\u5316\u4f1a\u8b70\u306e\u8b70\u4e8b\u9332\u30012009\u5e74\u3002 3a-1\uff08 PDF \uff08 \u8a18\u5ff5 2012\u5e744\u67086\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\uff09\u3002  \u2191  \u30ed\u30b8\u30e3\u30fc\u30fb\u30a2\u30ec\u30f3\uff1a  3D IC\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306f\u3001\u5408\u8a08\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059 \uff08 \u8a18\u5ff5 2010\u5e7410\u670831\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\u3002 \u306e\uff1a \u96fb\u5b50\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u3002 2010\u5e747\u67082\u65e5\u3002  \u2191  \u30b8\u30a7\u30fc\u30e0\u30baJ.-Q\u3002 Lu\u3001Ken Rose\u3001Susan Vitkavage\uff1a  3D\u7d71\u5408\uff1a\u306a\u305c\u3001\u4f55\u3001\u8ab0\u3001\u3044\u3064\uff1f \uff08 \u8a18\u5ff5 2008\u5e742\u670812\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\uff09 \u306e\uff1a Future Fab International\u3002 2007\u5e74\u7b2c23\u5dfb\uff08 PDF \uff09\u3002  \u2191  \u30a6\u30a3\u30ea\u30a2\u30e0J.\u30c0\u30ea\u30fc\uff1a \u30aa\u30f3\u30c1\u30c3\u30d7\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u30cd\u30c3\u30c8\u30ef\u30fc\u30af\u306e\u5c06\u6765\u306e\u65b9\u5411\u3002 OCIN\u30ef\u30fc\u30af\u30b7\u30e7\u30c3\u30d7\u30012006\u5e7412\u67087\u65e5\uff08 PDF\u3068\u3057\u3066\u306e\u8b1b\u7fa9\u6620\u753b \uff09\u3002  \u2191  R.\u30b3\u30ea\u30f3\u30b8\u30e7\u30f3\u30bd\u30f3\uff1a \u6a19\u6e96\u5316\u3055\u308c\u305f3-D\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30bf\u30c3\u30af \u3002 2008\u5e747\u670810\u65e5\u3002  \u2191  Dong Hyuk Woo\u3001Nak Hee Seong\u3001Dean L. Lewis\u3001Hsien-Hsin S. Lee\uff1a \u904e\u5ea6\u306e\u9ad8\u5bc6\u5ea6TSV\u5e2f\u57df\u5e45\u3092\u6d3b\u7528\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u6700\u9069\u5316\u3055\u308c\u305f3D\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u30e1\u30e2\u30ea\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3 \u3002\u306e\uff1a 2010 IEEE 16th International Symposium on High Performance Computer Architecture\uff08HPCA\uff09 \u3002 IEEE\u30012010\u3001ISBN 978-1-4244-5658-1\u3001 S.  1\u201312 \u3001doi\uff1a 10.1109\/HPCA.2010.5416628 \u3002   \u2191  P.\u30b8\u30a7\u30a4\u30b3\u30d6\u3001O\u3002\u30a8\u30eb\u30c9\u30a2\u30f3\u3001A\u3002\u30b8\u30a2\u3001P\u3002M\u30d9\u30ec\u30e0\u30b8\u30a2\u30f3\u3001R\u3002P\u30af\u30e9\u30d5\u30c8\u3001J\u3002F\u30de\u30af\u30c9\u30ca\u30eb\u30c9\uff1a 3D\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u30e1\u30e2\u30ea\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u306e\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u306e\u4e88\u6e2c \u3002\u306e\uff1a IEEE\u8a2d\u8a08\u3068\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u306e\u30c6\u30b9\u30c8 \u3002 \u30d0\u30f3\u30c9  22 \u3001 \u3044\u3044\u3048\u3002  6 \u30012005\u5e74\u3001 S.  540\u2013547 \u3001doi\uff1a 10.1109\/MDT.2005.151 \u3002   \u2191  \u30ed\u30d0\u30fc\u30c8\u30fb\u30d1\u30c6\u30a3\uff1a  ICS\u306e\u53ce\u91cf\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30ec\u30d9\u30eb\u306e3D\u30b9\u30bf\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u306e\u5f71\u97ff \uff08 \u8a18\u5ff5 2014\u5e745\u670817\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\u3002 \u306e\uff1a \u5c06\u6765\u306eFab Intl\u3002 \u7b2c23\u5dfb\u30012007\u5e74  \u2191  EDA\u306e\u30d3\u30c3\u30b03\u306f\u30013D\u30c1\u30c3\u30d7\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u306e\u6e96\u5099\u304c\u3067\u304d\u3066\u3044\u307e\u305b\u3093 \uff08 \u8a18\u5ff5 \u306e \u30aa\u30ea\u30b8\u30ca\u30eb 2008\u5e747\u670818\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\uff09  \u60c5\u5831\uff1a \u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u30ea\u30f3\u30af\u306f\u81ea\u52d5\u7684\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u307e\u3060\u30c1\u30a7\u30c3\u30af\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u305b\u3093\u3002\u6307\u793a\u306b\u5f93\u3063\u3066\u30aa\u30ea\u30b8\u30ca\u30eb\u3068\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u306e\u30ea\u30f3\u30af\u3092\u78ba\u8a8d\u3057\u3066\u304b\u3089\u3001\u3053\u306e\u30e1\u30e2\u3092\u524a\u9664\u3057\u3066\u304f\u3060\u3055\u3044\u3002 @\u521d\u3081 @2 \u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\uff1awebachiv\/iabot\/www.eetasia.com \u3002 EE Times Asia\u300125\u30022007\u5e7410\u6708\u3002  \u2191 a b c d  \u30c7\u30fb\u30d2\u30e7\u30f3\u30fb\u30ad\u30e0\u3001\u30b5\u30a4\u30d0\u30eb\u30fb\u30e0\u30b3\u30d1\u30c7\u30a3\u30e4\u30a4\u3001\u30bd\u30f3\u30fb\u30ad\u30e5\u30fc\u30fb\u30ea\u30e0\uff1a 3D\u30b9\u30bf\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0IC\u306eSILICON-VIA\u8a8d\u8b58\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u4e88\u6e2c\u3068\u6700\u9069\u5316 \u3002\u306e\uff1a \u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u4e88\u6e2c\u306b\u95a2\u3059\u308b\u7b2c11\u56de\u56fd\u969b\u30ef\u30fc\u30af\u30b7\u30e7\u30c3\u30d7\u306e\u8b70\u4e8b\u9332 \u3002 ACM\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u7c73\u56fd2009\u5e74\u3001ISBN 978-1-60558-576-5\u3001 S.  85\u201392 \u3001doi\uff1a 10.1145\/1572471.1572486 \u3002   \u2191 a b  S.\u30dc\u30eb\u30ab\u30fc\uff1a \u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u52b9\u7387\u306e\u9ad8\u3044\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u8a2d\u8a08\u306e\u305f\u3081\u306e3D\u7d71\u5408 \u3002\u306e\uff1a \u7b2c48\u56deACM\/EDAC\/IEEE\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u30aa\u30fc\u30c8\u30e1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u4f1a\u8b70\uff08DAC\uff09\u306e\u8b70\u4e8b\u9332 \u3002 IEEE\u30012011\u3001ISBN 978-1-4503-0636-2\u3001 S.  214\u2013219 \u3002   \u2191  H.-H. S.\u30ea\u30fc\u3001K\u3002\u30c1\u30e3\u30af\u30e9\u30d0\u30eb\u30c6\u30a3\uff1a 3D\u7d71\u5408\u56de\u8def\u306e\u30c6\u30b9\u30c8\u30c1\u30e3\u30ec\u30f3\u30b8 \u3002\u306e\uff1a IEEE\u8a2d\u8a08\u3068\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u306e\u30c6\u30b9\u30c8 \u3002 \u30d0\u30f3\u30c9  26 \u3001 \u3044\u3044\u3048\u3002  5 \u30012009\u5e74\u3001 S.  26\u201335 \u3001doi\uff1a 10.1109\/MDT.2009.125 \u3002   \u2191  \u6a19\u6e96\u5316\u3055\u308c\u305f3-D\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u30bf\u30c3\u30af \u3002 EE Times 7. 2008\u5e7411\u6708\u3002  \u2191  \u534a\u56fd\u969b\u6a19\u6e96\u30d7\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u306f\u30013D\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305fIC\u6a19\u6e96\u59d4\u54e1\u4f1a\u3092\u5f62\u6210\u3057\u307e\u3059 \uff08 \u8a18\u5ff5 \u306e \u30aa\u30ea\u30b8\u30ca\u30eb 2014\u5e745\u670817\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\uff09  \u60c5\u5831\uff1a \u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u30ea\u30f3\u30af\u306f\u81ea\u52d5\u7684\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u307e\u3060\u30c1\u30a7\u30c3\u30af\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u305b\u3093\u3002\u6307\u793a\u306b\u5f93\u3063\u3066\u30aa\u30ea\u30b8\u30ca\u30eb\u3068\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u306e\u30ea\u30f3\u30af\u3092\u78ba\u8a8d\u3057\u3066\u304b\u3089\u3001\u3053\u306e\u30e1\u30e2\u3092\u524a\u9664\u3057\u3066\u304f\u3060\u3055\u3044\u3002 @\u521d\u3081 @2 \u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\uff1awebachiv\/iabot\/www.semi.org \u3002 Semi\u30012010\u5e7412\u67087\u65e5\uff08\u30d7\u30ec\u30b9\u30ea\u30ea\u30fc\u30b9\uff09\u3002  \u2191  \u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\uff1a3D TSV Technologies\u30b7\u30ca\u30ea\u30aa\uff1aFirst\u307e\u305f\u306fby last\uff1f 2010\u5e74\u306e\u30ec\u30dd\u30fc\u30c8 \uff08 \u8a18\u5ff5 2014\u5e745\u670817\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\u3002 Yole Report\u30012010\u5e74\u3002  \u2191   SI\u30013D\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u7528\u306e\u30ac\u30e9\u30b9\u4ecb\u5165\u8005\uff1a\u30a2\u30ca\u30ea\u30b9\u30c8\u306e\u30c6\u30a4\u30af \uff08 \u8a18\u5ff5 2012\u5e747\u670822\u65e5\u304b\u3089 \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6 \uff09\u3002 \u9ad8\u5ea6\u306a\u5305\u88c510. 2010\u5e748\u6708\u3002  \u2191 a b  J. Knechl\u3001I.L\u3002\u30de\u30eb\u30b3\u30d5\u3001J\u3002\u30ea\u30a8\u30eb\u30cb\u30b0\uff1a 2D\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30923D\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u7d44\u307f\u7acb\u3066\u307e\u3059 \u3002\u306e\uff1a Proc\u3002 2011\u5e74\u306eint\u3002 symp\u3002\u7269\u7406\u7684\u306a\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u306b\u3064\u3044\u3066 \u3002 ACM\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u7c73\u56fd2011\u3001ISBN 978-1-4503-0550-1\u3001 S.  81\u201388 \u3001doi\uff1a 10.1145\/1960397.1960417 \u3002  \u53c2\u7167\uff1aJ\u3002Knechtel\u3001I.L\u3002\u30de\u30eb\u30b3\u30d5\u3001J\u3002Lienig\uff1a 2D\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u30923D\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u7d44\u307f\u7acb\u3066\u307e\u3059 \u3002\u306e\uff1a IEEE\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u3002\u7d71\u5408\u3055\u308c\u305f\u56de\u8def\u3068\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u652f\u63f4\u8a2d\u8a08 \u3002 \u30d0\u30f3\u30c9  \u6700\u521d\u306b30 \u3001 \u3044\u3044\u3048\u3002  2 \u30012012\u3001 S.  228\u2013241 \u3001doi\uff1a 10.1109\/TCAD.2011.2174640 \uff08 ifte.de [PDF]\uff09\u3002   \u2191 a b  J.\u30ea\u30fc\u30cb\u30b0\u3001M\u3002\u30c7\u30a3\u30fc\u30c8\u30ea\u30c3\u30d2\uff08\u7de8\uff09\uff1a \u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u7d71\u54083D\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u30c9\u30e9\u30d5\u30c8\u3057\u307e\u3059\u3002 Springs\u30012012\u3001ISBN 978-3-642-30571-9\u3002  \u2191  S. Garg\u3001D\u3002Marculescu\uff1a 3D-GCP\uff1a3DIC\u306e\u91cd\u8981\u306a\u30d1\u30b9\u9045\u5ef6\u5206\u5e03\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u30d0\u30ea\u30a8\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u5f71\u97ff\u306b\u95a2\u3059\u308b\u5206\u6790\u30e2\u30c7\u30eb \u3002\u306e\uff1a \u96fb\u5b50\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u306e\u54c1\u8cea\u30012009\u5e74\u3002ISQED2009\u3002\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u96fb\u5b50\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3 \u3002 IEEE\u30012009\u3001ISBN 978-1-4244-2952-3\u3001 S.  147\u2013155 \u3001doi\uff1a 10.1109\/isqed.2009.4810285 \u3002   \u2191  L.K.\u30b7\u30e3\u30fc\u30d7\uff1a \u65b0\u3057\u3044\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u306eCAD\u306e\u610f\u5473 \u3002\u306e\uff1a Proc\u3002\u7b2c44\u56de\u5e74\u6b21\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u30aa\u30fc\u30c8\u30e1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3Conf\u3002 ACM\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u30cb\u30e5\u30fc\u30e8\u30fc\u30af\u3001\u7c73\u56fd2007\u5e74\u3001ISBN 978-1-59593-627-1\u3001 S.  576\u2013581 \u3001doi\uff1a 10.1145\/1278480.1278626 \u3002   \u2191  B.\u30d6\u30e9\u30c3\u30af\u3001D\u3002W\u30cd\u30eb\u30bd\u30f3\u3001C\u3002\u30a6\u30a7\u30c3\u30d6\u3001N\u3002\u30b5\u30e0\u30e9\uff1a 3D\u51e6\u7406\u6280\u8853\u3068IA32\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3078\u306e\u5f71\u97ff \u3002\u306e\uff1a \u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u8a2d\u8a08\u306b\u95a2\u3059\u308bIEEE\u56fd\u969b\u4f1a\u8b70\uff1a\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u3068\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u306eVLSI\u30012004\u5e74\u3002ICCD2004\u3002 \u3002 IEEE\u30012004\u3001ISBN 0-7695-2231-9\u3001 S.  316\u2013318 \u3001doi\uff1a 10.1109\/ICCD.2004.1347939 \u3002   \u2191  \u30b9\u30c6\u30a3\u30fc\u30d6\u30fb\u30bb\u30ae\u30f3\uff1a \u4e16\u754c\u521d\u306e\u7a4d\u307f\u91cd\u306d\u3089\u308c\u305f3D\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u304c\u4f5c\u6210\u3057\u307e\u3057\u305f \u3002 16. 2008\u5e749\u6708\u3002  \u2191  3D\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\uff1a\u300c\u30ed\u30c1\u30a7\u30b9\u30bf\u30fc\u30ad\u30e5\u30fc\u30d6\u300d\u306f\u3001\u3088\u308a\u5f37\u529b\u306a\u30c1\u30c3\u30d7\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u3092\u6307\u3057\u307e\u3059 \u3002 Science Daily\u300117\u30022008\u5e749\u6708\u3002  \u2191  \u30bd\u30c9\u30e0 \u3002 Monolithic 3d Inc.  \u2191  \u30d4\u30fc\u30bf\u30fc\u30af\u30e9\u30fc\u30af\uff1a Monolithic 3D\u306f\u3001IC\u30d1\u30ef\u30fc\u30b7\u30df\u30e5\u30ec\u30fc\u30bf\u30fc\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059 \u3002 eetimes.com\u30012011\u5e746\u6708       (adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({});after-content-x4"},{"@context":"http:\/\/schema.org\/","@type":"BreadcrumbList","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"item":{"@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/#breadcrumbitem","name":"Enzyklop\u00e4die"}},{"@type":"ListItem","position":2,"item":{"@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/all2jp\/wiki10\/archives\/20891#breadcrumbitem","name":"3D-Integration  – \u30a6\u30a3\u30ad\u30da\u30c7\u30a3\u30a2"}}]}]