[{"@context":"http:\/\/schema.org\/","@type":"BlogPosting","@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/2022\/03\/24\/%e3%83%9e%e3%83%ab%e3%83%81%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e7%b4%a0%e5%ad%90-wikipedia\/#BlogPosting","mainEntityOfPage":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/2022\/03\/24\/%e3%83%9e%e3%83%ab%e3%83%81%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e7%b4%a0%e5%ad%90-wikipedia\/","headline":"\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50 – Wikipedia","name":"\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50 – Wikipedia","description":"\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50 (\u82f1: multigate device\u3001multiple gate field effect transistor\u3001MuGFET) \u3068\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7d20\u5b50\u3067\u3042\u308bMOSFET\u306e\u65b0\u305f\u306a\u65b9\u5f0f\u306e1\u3064\u3067\u3042\u308a\u3001\u5358\u4e00\u306e\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u8907\u6570\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u6301\u3064\u69cb\u6210\u306e\u3082\u306e\u3092\u6307\u3059\u3002\u3053\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u69cb\u9020\u306f\u3001CMOS\u69cb\u9020\u306e\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3084\u8a18\u61b6\u7d20\u5b50\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c2011\u5e74\u73fe\u5728\u3082\u958b\u767a\u3057\u3066\u3044\u308b\u6b21\u4e16\u4ee3\u6280\u8853\u306e1\u3064\u3067\u3042\u308a\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u914d\u7f6e\u65b9\u6cd5\u306a\u3069\u306b\u3088\u3063\u3066\u5e7e\u3064\u304b\u306e\u5f62\u5f0f\u306b\u5206\u304b\u308c\u308b\u3068\u3068\u3082\u306b\u3001\u958b\u767a\u306e\u9032\u5c55\u72b6\u6cc1\u3082\u5404\u793e\u3067\u7570\u306a\u308b\u3002 \u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u96fb\u6c17\u7684\u306b\u306f\u5358\u4e00\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u3088\u3046\u306b\u632f\u821e\u3046\u8907\u6570\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u9762\u304c\u5358\u4e00\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u3068\u3057\u3066\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u3082\u306e\u3084\u3001\u500b\u5225\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u3068\u3057\u3066\u5236\u5fa1\u3092\u884c\u3046\u3082\u306e\u304c\u3042\u308b\u3002 \u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u304c\u6301\u3064\u500b\u5225\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u306f\u3001MIGFET[1]\u3068\u547c\u3070\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u3042\u308b\u3002 \u591a\u69d8\u306a\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50A\u306f\u5f93\u6765\u306e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578bMOS-FET\u306e\u69cb\u9020\u3067\u3042\u308b\u3002B\u4ee5\u4e0b\u304c\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u306e\u69cb\u9020\u3067\u3042\u308b\u3002 \uff08\u5f93\u6765\u306e\uff09\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578bMOS-FET\u306e\u69cb\u9020\u6982\u7565(n\u578b)L:\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u9577, W:\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u5e45 MOS-FET\u306e\u52d5\u4f5c\u6a21\u5f0f\u56f3(n\u578b)A:\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u306b\u30d7\u30e9\u30b9\u306e\u96fb\u5727\u304c\u52a0\u308f\u308b\u3068\u6b63\u96fb\u4f4d\u306b\u5f15\u304b\u308c\u3066\u8ca0\u306e\u96fb\u8377\u306e\u96fb\u5b50\u304c\u96c6\u307e\u308b\u3002B:\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u306b\u6b63\u306e\u96fb\u5727\u3001\u30bd\u30fc\u30b9\u306b\u8ca0\u306e\u96fb\u5727\u304c\u52a0\u308f\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u96fb\u4f4d\u306b\u5f15\u304b\u308c\u3066\u96c6\u307e\u3063\u305f\u96fb\u5b50\u304c\u7d50\u679c\u3068\u3057\u3066\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u3068\u30bd\u30fc\u30b9\u306e\u9593\u306b\u6d41\u308c\u3092\u4f5c\u308b\u3002 SOI\u3092\u7528\u3044\u305f\u90e8\u5206\u7a7a\u4e4f\u578b\u3068\u5b8c\u5168\u6b20\u4e4f\u578b\u306eMOS-FET\u306e\u6a21\u5f0f\u56f31. \u30b2\u30fc\u30c8 2. \u30c9\u30ec\u30a4\u30f3 3.\u30bd\u30fc\u30b9","datePublished":"2022-03-24","dateModified":"2022-03-24","author":{"@type":"Person","@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/author\/lordneo\/#Person","name":"lordneo","url":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/author\/lordneo\/","image":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/c9645c498c9701c88b89b8537773dd7c?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/c9645c498c9701c88b89b8537773dd7c?s=96&d=mm&r=g","height":96,"width":96}},"publisher":{"@type":"Organization","name":"Enzyklop\u00e4die","logo":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/wiki4\/wp-content\/uploads\/2023\/08\/download.jpg","url":"https:\/\/wiki.edu.vn\/wiki4\/wp-content\/uploads\/2023\/08\/download.jpg","width":600,"height":60}},"image":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/upload.wikimedia.org\/wikipedia\/commons\/thumb\/1\/1e\/Multigate_models_1.PNG\/220px-Multigate_models_1.PNG","url":"https:\/\/upload.wikimedia.org\/wikipedia\/commons\/thumb\/1\/1e\/Multigate_models_1.PNG\/220px-Multigate_models_1.PNG","height":"358","width":"220"},"url":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/2022\/03\/24\/%e3%83%9e%e3%83%ab%e3%83%81%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e7%b4%a0%e5%ad%90-wikipedia\/","about":["Wiki"],"wordCount":2789,"articleBody":"\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50 (\u82f1: multigate device\u3001multiple gate field effect transistor\u3001MuGFET) \u3068\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7d20\u5b50\u3067\u3042\u308bMOSFET\u306e\u65b0\u305f\u306a\u65b9\u5f0f\u306e1\u3064\u3067\u3042\u308a\u3001\u5358\u4e00\u306e\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u8907\u6570\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u6301\u3064\u69cb\u6210\u306e\u3082\u306e\u3092\u6307\u3059\u3002\u3053\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u69cb\u9020\u306f\u3001CMOS\u69cb\u9020\u306e\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u3084\u8a18\u61b6\u7d20\u5b50\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c2011\u5e74\u73fe\u5728\u3082\u958b\u767a\u3057\u3066\u3044\u308b\u6b21\u4e16\u4ee3\u6280\u8853\u306e1\u3064\u3067\u3042\u308a\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u914d\u7f6e\u65b9\u6cd5\u306a\u3069\u306b\u3088\u3063\u3066\u5e7e\u3064\u304b\u306e\u5f62\u5f0f\u306b\u5206\u304b\u308c\u308b\u3068\u3068\u3082\u306b\u3001\u958b\u767a\u306e\u9032\u5c55\u72b6\u6cc1\u3082\u5404\u793e\u3067\u7570\u306a\u308b\u3002\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u96fb\u6c17\u7684\u306b\u306f\u5358\u4e00\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u3088\u3046\u306b\u632f\u821e\u3046\u8907\u6570\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u9762\u304c\u5358\u4e00\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u3068\u3057\u3066\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u3082\u306e\u3084\u3001\u500b\u5225\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u3068\u3057\u3066\u5236\u5fa1\u3092\u884c\u3046\u3082\u306e\u304c\u3042\u308b\u3002\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u304c\u6301\u3064\u500b\u5225\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u306f\u3001MIGFET[1]\u3068\u547c\u3070\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u3042\u308b\u3002  \u591a\u69d8\u306a\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50A\u306f\u5f93\u6765\u306e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578bMOS-FET\u306e\u69cb\u9020\u3067\u3042\u308b\u3002B\u4ee5\u4e0b\u304c\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u306e\u69cb\u9020\u3067\u3042\u308b\u3002  \uff08\u5f93\u6765\u306e\uff09\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578bMOS-FET\u306e\u69cb\u9020\u6982\u7565(n\u578b)L:\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u9577, W:\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u5e45  MOS-FET\u306e\u52d5\u4f5c\u6a21\u5f0f\u56f3(n\u578b)A:\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975\u306b\u30d7\u30e9\u30b9\u306e\u96fb\u5727\u304c\u52a0\u308f\u308b\u3068\u6b63\u96fb\u4f4d\u306b\u5f15\u304b\u308c\u3066\u8ca0\u306e\u96fb\u8377\u306e\u96fb\u5b50\u304c\u96c6\u307e\u308b\u3002B:\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u306b\u6b63\u306e\u96fb\u5727\u3001\u30bd\u30fc\u30b9\u306b\u8ca0\u306e\u96fb\u5727\u304c\u52a0\u308f\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u96fb\u4f4d\u306b\u5f15\u304b\u308c\u3066\u96c6\u307e\u3063\u305f\u96fb\u5b50\u304c\u7d50\u679c\u3068\u3057\u3066\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u3068\u30bd\u30fc\u30b9\u306e\u9593\u306b\u6d41\u308c\u3092\u4f5c\u308b\u3002  SOI\u3092\u7528\u3044\u305f\u90e8\u5206\u7a7a\u4e4f\u578b\u3068\u5b8c\u5168\u6b20\u4e4f\u578b\u306eMOS-FET\u306e\u6a21\u5f0f\u56f31. \u30b2\u30fc\u30c8 2. \u30c9\u30ec\u30a4\u30f3 3.\u30bd\u30fc\u30b9 4.SOI 5.\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u57fa\u677f 6.\u7a7a\u4e4f\u5c64\u4e3b\u306b\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u3092\u906e\u65ad\u3059\u308b\u76ee\u7684\u3067\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u5e95\u90e8\u306b\u7d76\u7e01\u5c64\u304c\u8a2d\u3051\u3089\u308c\u308b\u3002\u3053\u306e\u7d76\u7e01\u5c64\u306fSOI(Silicon on Insulator) \u3068\u547c\u3070\u308c\u3001\u7a7a\u4e4f\u5c64\u306e\u6709\u7121\u306a\u3069\u306b\u3088\u3063\u3066\u90e8\u5206\u7a7a\u4e4f\u578b(A)\u3068\u5b8c\u5168\u7a7a\u4e4f\u578b(B)\u306e2\u7a2e\u985e\u306b\u5927\u5225\u3055\u308c\u308b\u30021940\u5e74\u4ee3\u306b\u56fa\u4f53\u91d1\u5c5e\u306b\u3088\u3063\u3066\u5897\u5e45\u6a5f\u80fd\u3092\u6301\u3063\u305f\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u304c\u958b\u767a\u3055\u308c\u3001\u3084\u304c\u3066\u5358\u4f53\u306e\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u3060\u3063\u305f\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u304c\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u88fd\u306e\u677f\u306b\u5e7e\u3064\u3082\u4f5c\u308a\u8fbc\u307e\u308c\u3066\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u304c\u767b\u5834\u3057\u305f\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u30a2\u30ca\u30ed\u30b0\u7528IC\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u30c7\u30b8\u30bf\u30eb\u7528IC\u3068\u3044\u3046\u65b0\u305f\u306a\u5e02\u5834\u3092\u958b\u62d3\u3057\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u696d\u306f\u4e00\u5927\u7523\u696d\u306b\u6210\u9577\u3057\u305f\u30021\u30641\u3064\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u304c\u5fae\u7d30\u5316\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u3067\u52d5\u4f5c\u7279\u6027\u3084\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u306e\u9762\u3067\u5e74\u3005\u6027\u80fd\u304c\u5411\u4e0a\u3057\u3001\u300c\u30e0\u30fc\u30a2\u306e\u6cd5\u5247\u300d\u3068\u547c\u3070\u308c\u308b\u9a5a\u7570\u7684\u306a\u6027\u80fd\u5411\u4e0a\u304c\u679c\u305f\u3055\u308c\u305f\u3002\u3084\u304c\u3066\u534a\u5c0e\u4f53\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306a\u3069\u306f21\u4e16\u7d00\u76f4\u524d\u306b\u306a\u308b\u3068\u3001\u3053\u308c\u307e\u3067\u540c\u69d8\u306b\u5c06\u6765\u3082\u96c6\u7a4d\u5ea6\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u6280\u8853\u7684\u306a\u4f59\u5730\u304c\u5bb9\u6613\u306b\u306f\u898b\u51fa\u305b\u306a\u3044\u3067\u3044\u305f\u3002\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u4ee5\u5916\u306e\u6750\u6599\u3084\u96fb\u5b50\u6d41\u3067\u306f\u306a\u304f\u5149\u6f14\u7b97\u7d20\u5b50\u306a\u3069\u3082\u691c\u8a0e\u8ab2\u984c\u306e1\u3064\u3060\u3063\u305f\u304c\u3001\u3088\u308a\u73fe\u5b9f\u7684\u306a\u89e3\u306e1\u3064\u3068\u3057\u3066\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u8907\u6570\u5316\uff0f\u7acb\u4f53\u5316\u304c\u3042\u3063\u305f\u3002\u3053\u306e\u6280\u8853\u306e\u5177\u4f53\u7684\u306a\u958b\u767a\u7af6\u4e89\u306f21\u4e16\u7d00\u306b\u5165\u3063\u3066\u304b\u3089\u59cb\u307e\u3063\u305f\u3002\u30e0\u30fc\u30a2\u306e\u6cd5\u5247\u3092\u5ef6\u9577\u3055\u305b\u308b\u6280\u8853\u3068\u3057\u3066[2]\u534a\u5c0e\u4f53\u5404\u793e\u304c\u53d6\u308a\u7d44\u3080\u3088\u3046\u306b\u306a\u3063\u305f\u3002\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u958b\u767a\u3078\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u306f\u3001AMD\u793e\u3001\u65e5\u7acb\u793e\u3001IBM\u793e\u3001\u30a4\u30f3\u30d5\u30a3\u30cb\u30aa\u30f3\u793e\u3001\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u3001TSMC\u793e\u3001\u30d5\u30ea\u30fc\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u793e, \u30ab\u30ea\u30d5\u30a9\u30eb\u30cb\u30a2\u5927\u5b66\u30d0\u30fc\u30af\u30ec\u30fc\u6821\u3001\u305d\u3057\u3066\u3001\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u591a\u304f\u306e\u4f01\u696d\u30fb\u56e3\u4f53\u304c\u884c\u3063\u3066\u3044\u308b\u3068\u5831\u544a\u304c\u3042\u308a\u3001\u56fd\u969b\u534a\u5c0e\u4f53\u6280\u8853\u30ed\u30fc\u30c9\u30de\u30c3\u30d7 (ITRS) \u3067\u306f 32nm\u4e16\u4ee3\u4ee5\u964d\u3067\u672c\u6280\u8853\u304c\u767b\u5834\u3059\u308b\u306e\u3067\u306f\u306a\u3044\u304b\u3068\u4e88\u60f3\u304c\u306a\u3055\u308c\u3066\u3044\u305f[3]\u3002\u5e83\u304f\u666e\u53ca\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u58c1\u306e1\u3064\u306f\u88fd\u9020\u5bb9\u6613\u6027\u3067\u3042\u308b\u3068\u8003\u3048\u3089\u308c\u308b\u3002\u7279\u306b\u73fe\u72b6\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u8a2d\u8a08\u306f\u5f93\u6765\u306e2\u6b21\u5143\u7684\u306a\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u8a2d\u8a08\u6280\u8853\u306b3\u6b21\u5143\u7684\u306a\u8981\u7d20\u304c\u8003\u616e\u3055\u308c\u59cb\u3081\u305f\u6bb5\u968e\u3067\u3042\u308a\u3001\u30d5\u30a9\u30c8\u30ea\u30bd\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u306a\u3069\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b\u8a2d\u8a08\u3068\u88fd\u9020\u306e\u73fe\u5834\u3067\u306f\u3001\u73fe\u72b6\u306e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u3068\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u306e\u4e21\u8a2d\u8a08\u9593\u3067\u5927\u304d\u306a\u5909\u66f4\u304c\u6c42\u3081\u3089\u308c\u308b\u3002\u7d20\u5b50\u306e\u5fae\u7d30\u5316\u306e\u305f\u3081\u306e\u4ed6\u306e\u76f8\u88dc\u7684\u306a\u6226\u7565\u306b\u306f\u3001\u6b6a\u307f\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u6280\u8853\u3092\u7528\u3044\u305f\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u3084\u3001SOI\u6280\u8853\u3001High-\u03ba\uff08\u9ad8\u6bd4\u8a98\u96fb\u7387\u819c\uff09\u6280\u8853\u3084\u30e1\u30bf\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u6280\u8853\u304c\u3042\u308b\u3002\u904e\u53bb\u6570\u5341\u5e74\u9593\u3001\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306fIC\u306e\u4e2d\u5fc3\u3067\u3042\u308a\u7d9a\u3051\u3001\u500b\u5225\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u5927\u304d\u3055\u306f\u5e38\u306b\u7e2e\u5c0f\u3057\u7d9a\u3051\u305f\u3002\u5927\u304d\u3055\u304c\u7e2e\u5c0f\u3057\u305f\u3053\u3068\u3067\u3001\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306f\u597d\u307e\u3057\u304f\u306a\u3044\u30b7\u30e7\u30fc\u30c8\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u52b9\u679c[4][5]\u306b\u3088\u3063\u3066\u5c06\u6765\u306e\u56f0\u96e3\u304c\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u3001\u7279\u306b\u7d20\u5b50\u304c\u52d5\u4f5c\u3057\u3066\u3044\u306a\u3044\u9593\u3082\u6d41\u308c\u308b\u3053\u3068\u3067\u96fb\u529b\u3092\u6d88\u8cbb\u3059\u308b\u300c\u30aa\u30d5\u30b9\u30c6\u30fc\u30c8\u30fb\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u300d\u304c\u554f\u984c\u3068\u306a\u308b[6] \u3002\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u3067\u306f\u3001\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u306f\u8907\u6570\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u306b\u3088\u308b\u8907\u6570\u306e\u9762\u3067\u56f2\u307e\u308c\u308b\u306e\u3067\u300c\u30aa\u30d5\u30b9\u30c6\u30fc\u30c8\u30fb\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u300d\u306e\u6291\u5236\u306b\u52b9\u679c\u3092\u767a\u63ee\u3059\u308b\u3002\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u99c6\u52d5\u96fb\u6d41\u3068\u547c\u3070\u308c\u308b\u300c\u30aa\u30f3\u30b9\u30c6\u30fc\u30c8\u300d\u306e\u96fb\u6d41\u3082\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u9577\u6240\u306f\u4f4e\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u5316\u3068\u7d20\u5b50\u306e\u80fd\u529b\u5411\u4e0a\u3068\u306a\u3063\u3066\u8868\u308c\u308b\u3002\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u7d20\u5b50\u306f\u5f93\u6765\u306e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3088\u308a\u3082\u5c0f\u578b\u3067\u3042\u308a\u3001\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u96c6\u7a4d\u5ea6\u3092\u9ad8\u3081\u3089\u308c\u308b\u3053\u3068\u3067\u3042\u3089\u3086\u308b\u5c0f\u578b\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u304c\u5b9f\u73fe\u53ef\u80fd\u3060\u3068\u3055\u308c\u308b\u3002\u5e73\u9762\u304b\u3089\u7acb\u4f53\u3078\u69cb\u9020\u304c\u5909\u308f\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u96c6\u7a4d\u5ea6\u304c\u9ad8\u3081\u3089\u308c\u308b\u3000\u2192\u3000\u5c0f\u578b\u5316\u300c\u30aa\u30d5\u30b9\u30c6\u30fc\u30c8\u30fb\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u300d\u304c\u6291\u5236\u3067\u304d\u3001\u300c\u30aa\u30f3\u30b9\u30c6\u30fc\u30c8\u96fb\u6d41\u300d\u306e\u52b9\u679c\u3082\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3089\u308c\u308b\u3000\u2192\u3000\u4f4e\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\uff0f\u4f4e\u767a\u71b1\u5316\u30b2\u30fc\u30c8\u9577\u306e\u5236\u7d04\u304b\u3089\u89e3\u653e\u3055\u308c\u3001\u6700\u9069\u306e\u3057\u304d\u3044\u5024\u96fb\u5727\u304c\u9078\u3079\u308b\u3000\u2192\u3000\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u4f4e\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\uff0f\u4f4e\u767a\u71b1\u5316\u5f93\u6765\u578b\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u5de5\u7a0b\u3067\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6311\u6226\u3059\u3079\u304d\u8ab2\u984c\uff1a\u6570\u5341\u30ca\u30ce\u30e1\u30fc\u30bf\u30fc\u5e45\u306e\u300c\u30d5\u30a3\u30f3\u300d\u72b6\u306e\u8584\u3044\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u306e\u88fd\u4f5c\u30d5\u30a3\u30f3\u306e\u5468\u56f2\u306b\u5bc6\u7740\u3059\u308b\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u88fd\u4f5c  \u591a\u69d8\u306a\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u6570\u5341\u3082\u306e\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u6d3e\u751f\u578b\u304c\u6587\u732e\u4e0a\u3067\u306f\u5b58\u5728\u3059\u308b\u3002\u4e00\u822c\u306b\u3053\u308c\u3089\u306e\u6d3e\u751f\u578b\u306f\u3001\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u30fc\uff08\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\uff0f\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\uff09\u3068\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u6570\uff0f\u30b2\u30fc\u30c8\u6570\uff082, 3, 4\uff09\u3067\u8b58\u5225\u30fb\u5206\u985e\u3067\u304d\u308bTable of Contents\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u30fb\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf[\u7de8\u96c6]Flexfet[\u7de8\u96c6]FinFET[\u7de8\u96c6]\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf[\u7de8\u96c6]\u5168\u5468\u30b2\u30fc\u30c8FET[\u7de8\u96c6]\u811a\u6ce8\u30fb\u51fa\u5178[\u7de8\u96c6]\u95a2\u9023\u9805\u76ee[\u7de8\u96c6]\u53c2\u8003\u30ea\u30f3\u30af[\u7de8\u96c6]\u5916\u90e8\u30ea\u30f3\u30af[\u7de8\u96c6]\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u30fb\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf[\u7de8\u96c6]\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u30fb\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306f\u3001\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u306e\u5782\u76f4\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u69cb\u9020\u3067\u306e\u3088\u308a\u53b3\u3057\u3044\u5149\u5b66\u5370\u5237\u6280\u8853\u3092\u907f\u3051\u3066\uff08\u5c64\u306e\u4e0a\u306b\u5c64\u3092\u91cd\u306d\u305f\uff09\u5f93\u6765\u578b\u306e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u306e\u88fd\u9020\u6280\u8853\u3067\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50\u3092\u69cb\u7bc9\u3057\u305f\u3082\u306e\u3067\u3042\u308b\u3002\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u30fb\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3067\u306f\u3001\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u306f\u30012\u3064\u306e\u72ec\u7acb\u3057\u3066\u4f5c\u3089\u308c\u305f\u30b2\u30fc\u30c8\uff0f\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u7a4d\u5c64\u306e\u9593\u306b\u631f\u307f\u8fbc\u307e\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u69cb\u9020\u3067\u306e\u6700\u521d\u306e\u6311\u6226\u306f\u3001\u4e0b\u5c64\u3068\u4e0a\u5c64\u3068\u306e\u9593\u3067\u30bb\u30eb\u30d5\u30fb\u30a2\u30e9\u30a4\u30e1\u30f3\u30c8[7]\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u3067\u5b9f\u73fe\u3067\u304d\u305f[8]\u3002Flexfet[\u7de8\u96c6]  Flexfet \u306f\u3001\u30c0\u30de\u30b7\u30f3\u91d1\u5c5e\u306b\u3088\u308b\u30c8\u30c3\u30d7\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u6301\u3064MOSFET\u3068\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u30c8\u30ec\u30f3\u30c1\u3067\u306e\u30bb\u30eb\u30d5\u30a2\u30e9\u30a4\u30f3\u3092\u884c\u3063\u3066\u690d\u3048\u8fbc\u307e\u308c\u305f\u63a5\u5408\u578bFET\u306e\u30dc\u30c8\u30e0\u30b2\u30fc\u30c8\u3068\u3044\u3046\u3001\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u306e\u72ec\u7acb\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3067\u3042\u308b\u3002\u3053\u306e\u7d20\u5b50\u306f\u3001\u975e\u690d\u8fbc\u307f\u3067\u8d85\u6d45\u306e\u30bd\u30fc\u30b9\u3068\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u306e\u63a5\u7d9a\u90e8\u3068\u3001\u4e0a\u90e8\u306b\u51fa\u306a\u3044\u30bd\u30fc\u30b9\u3068\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u90e8\u3001\u305d\u3057\u3066\u30b2\u30fc\u30c8\u90e8\u3092\u6700\u5f8c\u306b\u4f5c\u308b\u624b\u9806\u306b\u3088\u3063\u3066\u3001\u5149\u5b66\u5370\u5237\u3088\u308a\u77ed\u3044\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u9577\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u306b\u9ad8\u3044\u7e2e\u5c0f\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002Flexfet \u306f\u3001(1): \u30c8\u30c3\u30d7\u3068\u30dc\u30c8\u30e0\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u3067\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u52d5\u4f5c\u3092\u884c\u3046\u3002(2): \u30c8\u30c3\u30d7\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u52d5\u4f5c\u304c\u30dc\u30c8\u30e0\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u52d5\u4f5c\u306b\u5f71\u97ff\u3092\u53ca\u307c\u3057\u3001\u307e\u305f\u3053\u306e\u9006\u3082\u540c\u69d8\u3067\u30012\u3064\u304c1\u7d44\u3068\u306a\u3063\u3066\u30b2\u30fc\u30c8\u52d5\u4f5c\u304c\u884c\u308f\u308c\u308b\u3068\u3044\u3046\u3053\u3068\u304b\u3089\u3001\u771f\u306e\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3067\u3042\u308b[9]Flexfet \u306f\u3001\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab\u30f3\u30fb\u30bb\u30df\u30b3\u30f3\u30c0\u30af\u30bf\u30fc\u793e\u306b\u3088\u3063\u3066\u958b\u767a\u3055\u308c\u88fd\u9020\u3055\u308c\u305f\u3002FinFET[\u7de8\u96c6]  \u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u6301\u3063\u305f\u30d5\u30a3\u30f3\u96fb\u754c\u52b9\u679c\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u7d20\u5b50\u306e\u6a21\u5f0f\u56f3FinFET \u3068\u3044\u3046\u8a00\u8449\u306f\u3001\u5f93\u6765\u306e DELTA \uff08\u30b7\u30f3\u30b0\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\uff09\u306b\u3088\u308b\u8a2d\u8a08[10]\u3092\u5143\u306b\u3057\u3066\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3092SOI\u57fa\u677f\u4e0a\u306b\u69cb\u7bc9\u3057\u305f\u3082\u306e\u3092\u8aac\u660e\u3059\u308b\u306e\u306b\u3001\u30ab\u30ea\u30d5\u30a9\u30eb\u30cb\u30a2\u5927\u5b66\u306e\u30d0\u30fc\u30af\u30ec\u30a4\u7814\u7a76\u6240 [11]\u3067\u65b0\u3057\u304f\u4f5c\u3089\u308c\u305f\u8a9e\u3067\u3042\u308b[12]\u3002FinFET \u306e\u7279\u5fb4\u306f\u3001\u4f1d\u5c0e\u6027\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u304c\u7d20\u5b50\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u69cb\u6210\u3059\u308b\u8584\u3044\u300c\u30d5\u30a3\u30f3\u300d\u72b6\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u3067\u8986\u308f\u308c\u3066\u3044\u308b\u70b9\u306b\u3042\u308b\u3002\u30bd\u30fc\u30b9 – \u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u9593\u306e\u76f4\u7dda\u8ddd\u96e2\u3068\u3057\u3066\u8868\u3055\u308c\u308b\u30d5\u30a3\u30f3\u306e\u539a\u3055\u304c\u7d20\u5b50\u306e\u6709\u52b9\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u9577\u3092\u6c7a\u5b9a\u3059\u308b\u3002\u4eca\u306e\u3068\u3053\u308d\u3001FinFET \u3068\u3044\u3046\u8a00\u8449\u306e\u5b9a\u7fa9\u306f\u5b9a\u307e\u3063\u3066\u3044\u306a\u3044\u3002AMD\u793e\u3001 IBM\u793e\u3001\u305d\u3057\u3066\u30e2\u30c8\u30ed\u30fc\u30e9\u793e\u3068\u3044\u3063\u305f\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u306e\u88fd\u9020\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u30c0\u30d6\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u958b\u767a\u306e\u52aa\u529b\u3092FinFET\u958b\u767a\u3068\u3057\u3066\u660e\u3089\u304b\u306b\u3057\u3066\u304a\u308a[13]\u3001\u305d\u308c\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u306f\u300c\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u300d[14][15]\u3068\u3044\u3046\u4f3c\u305f\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3067\u8868\u73fe\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u6280\u8853\u8cc7\u6599\u306b\u3088\u308c\u3070\u3001FinFET \u306f\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u6570\u306b\u95a2\u4fc2\u306a\u304f\u3001\u4f55\u3089\u304b\u306e\u30d5\u30a3\u30f3\u3092\u7528\u3044\u305f\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3060\u3068\u3001\u6982\u8981\u3060\u3051\u304c\u8aac\u660e\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u306b\u3059\u304e\u306a\u3044\u3002  2002\u5e7412\u6708\u3001TSMC \u306b\u3088\u3063\u30660.7V\u3061\u3087\u3046\u3069\u3067\u306e25nm\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u52d5\u4f5c\u304c\u5b9f\u6f14\u3055\u308c\u305f\u3002\u3053\u306e Omega FinFET \u306f\u3001\u30ae\u30ea\u30b7\u30e3\u6587\u5b57\u300c\u30aa\u30e1\u30ac\u300d\u306b\u4f3c\u3066\u3044\u305f\u305f\u3081\u306b\u5f8c\u304b\u3089\u3053\u306e\u3088\u3046\u306b\u540d\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u3001\u30bd\u30fc\u30b9\uff0f\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u69cb\u9020\u3092\u30b2\u30fc\u30c8\u304c\u5305\u307f\u8fbc\u3080\u5f62\u72b6\u3067\u3042\u308a\u3001N\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3067\u30000.39 ps\uff08\u30d4\u30b3\u79d2\uff09\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u9045\u5ef6\u3001P\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30670.88 ps \u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u9045\u5ef6\u3067\u3042\u3063\u305f\u3002\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf[\u7de8\u96c6]\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8[16]\u307e\u305f\u306f 3-D \u3068\u3044\u3046\u8a00\u8449\u306f\u3001\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u304c\u5f7c\u3089\u306e\u975e\u30d7\u30ec\u30ca\u30fc\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30fb\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3092\u8aac\u660e\u3059\u308b\u6642\u306b\u5c06\u6765\u306e\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d7\u30ed\u30bb\u30c3\u30b5\u30fc\u6280\u8853\u3068\u3057\u3066\u7528\u3044\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u5f7c\u3089\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306f\u30012\u3064\u306e\u5782\u76f4\u30b2\u30fc\u30c8\u306e\u9802\u90e8\u30671\u3064\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u91cd\u306d\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u3053\u306e\u8868\u9762\u3067\u672c\u8cea\u7684\u306b3\u500d\u306e\u96fb\u5b50\u306e\u79fb\u52d5\u3092\u8a31\u3059\u3053\u3068\u306b\u306a\u308b\u3002\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u3067\u306f\u3001\u5f7c\u3089\u306e\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u304c\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u3092\u6e1b\u5c11\u3055\u305b\u3001\u73fe\u5728\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306b\u6bd4\u3079\u3066\u306f\u308b\u304b\u306b\u5c0f\u3055\u306a\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u3067\u6e08\u3088\u3046\u306b\u306a\u308b\u3068\u4f1d\u3048\u3066\u3044\u308b\u3002\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u306b\u3088\u308c\u3070\u3001\u6700\u592737%\u901f\u5ea6\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3001\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u306b\u304a\u3044\u3066\u3082\u5f93\u6765\u578b\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306b\u6bd4\u3079\u306650%\u4ee5\u4e0a\u3082\u524a\u6e1b\u3067\u304d\u308b\u3068\u3055\u308c\u308b[17]\u3002\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u3067\u306f\u3001\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3092 Ivy Bridge \u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3068\u540d\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u305fCPU\u88fd\u54c1\u30e9\u30a4\u30f3\u304b\u3089\u7528\u3044\u3066\u3044\u308b[18]\u3002\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u306f2002\u5e74\u4ee5\u6765\u3053\u306e\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u30fb\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u65b9\u5f0f\u306e\u958b\u767a\u3092\u884c\u3063\u3066\u6765\u305f\u304c\u30012011\u5e74\u306b\u306a\u308b\u307e\u3067\u91cf\u7523\u306e\u767a\u8868\u3059\u308b\u306b\u306f\u81f3\u3089\u306a\u304b\u3063\u305f\u30022011\u5e745\u67085\u65e5\u3001\u30b5\u30f3\u30d5\u30e9\u30f3\u30b7\u30b9\u30b3\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u3053\u306e\u65b0\u305f\u306a\u5f62\u5f0f\u306e\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u304c\u516c\u8868\u3055\u308c\u305f[19]\u3002\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u306e\u5de5\u5834\u3067\u306f\u3001”Ivy Bridge” CPU\u30922012\u5e744\u6708\u304b\u3089\u8ca9\u58f2\u3057\u3066\u3044\u308b[20]\u3002\u30c7\u30b9\u30af\u30c8\u30c3\u30d7\u30fb\u30d1\u30bd\u30b3\u30f3\u7528\u306e\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u306e Ivy Bridge \u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u7528\u3044\u3089\u308c\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u3053\u306e\u65b0\u305f\u306a\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306f\u4f4e\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u7528\u306e\u30a4\u30f3\u30c6\u30eb\u793e\u306eAtom\u30c1\u30c3\u30d7\u306b\u3082\u7528\u3044\u3089\u308c\u308b[19][21]\u3002\u6280\u8853\u8cc7\u6599\u306b\u3088\u308c\u3070\u3001\u30c8\u30e9\u30a4\u30b2\u30fc\u30c8\u3068\u3044\u3046\u5358\u8a9e\u306f\u6642\u3068\u3057\u3066\u30013\u3064\u306e\u6709\u52b9\u306a\u30b2\u30fc\u30c8\u3001\u307e\u305f\u306f\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u3092\u6301\u3064\u591a\u69d8\u306a\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8FET\u306e\u5168\u822c\u3092\u793a\u3059\u306e\u306b\u7528\u3044\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002  \u5168\u5468\u30b2\u30fc\u30c8FET[\u7de8\u96c6]\u5168\u5468\u30b2\u30fc\u30c8FET\uff08GAA FET[22]\uff09\u306f\u3001\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u90e8\u5206\u306e\u5168\u5074\u9762\u3092\u30b2\u30fc\u30c8\u6750\u3067\u56f2\u3080\u70b9\u3092\u9664\u3051\u3070\u3001FinFET \u3068\u540c\u3058\u3088\u3046\u306a\u30b3\u30f3\u30bb\u30d7\u30c8\u3067\u3042\u308b\u3002GAA FET \u306f\u3001\u8a2d\u8a08\u306b\u3088\u3063\u3066\u30012\u3064\u307e\u305f\u306f3\u3064\u306e\u6709\u52b9\u306a\u30b2\u30fc\u30c8\u3092\u6301\u3064\u3053\u3068\u306b\u306a\u308b\u3002GAA FET \u306f\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30fb\u30ca\u30ce\u30ef\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u5468\u56f2\u306b\u69cb\u7bc9\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u6210\u529f\u3057\u305f[23]\u3002\u811a\u6ce8\u30fb\u51fa\u5178[\u7de8\u96c6]^ multiple independent gate field effect transistor^ Risch, L. “Pushing CMOS Beyond the Roadmap”, Proceedings of ESSCIRC, 2005, p. 63^ \u201c\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u3055\u308c\u305f\u30b3\u30d4\u30fc\u201d. 2007\u5e749\u670827\u65e5\u6642\u70b9\u306e\u30aa\u30ea\u30b8\u30ca\u30eb[\u30ea\u30f3\u30af\u5207\u308c]\u3088\u308a\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u30022007\u5e7411\u670815\u65e5\u95b2\u89a7\u3002 Table39b^ \u82f1: short channel effect^ MOS\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u30bd\u30fc\u30b9\u3068\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\u306e\u8ddd\u96e2\u304c\u7e2e\u307e\u308a\u30c1\u30e3\u30f3\u30cd\u30eb\u9577\u304c\u77ed\u7e2e\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u3057\u304d\u3044\u5024\u96fb\u5727\u304c\u4f4e\u4e0b\u3059\u308b\u73fe\u8c61\u3067\u3042\u308b\u3002^ Subramanian V (2010). \u201cMultiple gate field-effect transistors for future CMOS technologies\u201d. IETE Technical Review 27:  446-454.  \u30aa\u30ea\u30b8\u30ca\u30eb\u306e2012\u5e743\u670823\u65e5\u6642\u70b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u30a2\u30fc\u30ab\u30a4\u30d6\u3002. https:\/\/web.archive.org\/web\/20120323162150\/http:\/\/www.tr.ietejournals.org\/article.asp?issn=0256-4602%3Byear%3D2010%3Bvolume%3D27%3Bissue%3D6%3Bspage%3D446%3Bepage%3D454%3Baulast%3DSubramanian.\u00a0^ \u30bb\u30eb\u30d5\u30fb\u30a2\u30e9\u30a4\u30e1\u30f3\u30c8\u3068\u306f\u4ed6\u306e\u69cb\u7bc9\u6e08\u307f\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u306e\u7e01\u306a\u3069\u3092\u5229\u7528\u3057\u3066\u305d\u308c\u306b\u7d9a\u304f\u65b0\u305f\u306a\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u3092\u4f5c\u308b\u3053\u3068\u3067\u3042\u308b\u3002\u4f4d\u7f6e\u5408\u308f\u305b\u304c\u5b9f\u8cea\u4e0d\u8981\u3068\u306a\u308a\u3001\u4f4d\u7f6e\u7cbe\u5ea6\u3082\u5411\u4e0a\u3059\u308b\u3002^ Wong, H-S. Chan, K. Taur, Y. “Self-Aligned (Top and Bottom) Double-Gate MOSFET with a 25 nm Thick Silicon Channel” IEDM 1997, p.427^ Wilson, D.; Hayhurst, R.; Oblea, A.; Parke, S.; Hackler, D. “Flexfet: Independently-Double-Gated SOI Transistor With Variable Vt and 0.5V Operation Achieving Near Ideal Subthreshold Slope” SOI Conference, 2007 IEEE International^ Hisamoto, D. et al. (1991) “Impact of the vertical SOI ‘Delta’ Structure on Planar Device Technology” IEEE Trans. Electron. Dev. 41 p. 745.^ University of California, Berkeley researchers, Profs. Chenming Hu, Tsu-Jae King-Liu and Jeffrey Bokor^ Huang, X. et al. (1999) “Sub 50-nm FinFET: PMOS” International Electron Devices Meeting Technical Digest, p. 67. December 5\u20138, 1999.^ http:\/\/www.amd.com\/us-en\/Corporate\/VirtualPressRoom\/0,,51_104_543_8001~42454,00.html^ \u82f1: tri-gate^ http:\/\/www.intel.com\/technology\/silicon\/integrated_cmos.htm^ \u82f1: tri-gate^ Cartwright J (2011). \u201cIntel enters the third dimension\u201d. Nature. doi:10.1038\/news.2011.274. http:\/\/www.nature.com\/news\/2011\/110506\/full\/news.2011.274.html.\u00a0^ \u201cIntel Reinvents Transistors Using New 3-D Structure\u201d.   Intel. 2011\u5e745\u67084\u65e5\u95b2\u89a7\u3002^ a b \u201cTransistors go 3D as Intel re-invents the microchip\u201d.   Ars Technica (2011\u5e745\u67085\u65e5). 2011\u5e745\u67087\u65e5\u95b2\u89a7\u3002^ \u201cIntel’s New Tri-Gate Ivy Bridge Transistors: 9 Things You Need to Know\u201d. PC Magazine. (2011\u5e745\u67084\u65e5). http:\/\/www.pcmag.com\/article2\/0,2817,2384909,00.asp 2011\u5e745\u67087\u65e5\u95b2\u89a7\u3002\u00a0^ Intel Senior Fellow\u306eMark Bohr\u306b\u3088\u308c\u3070\u300c32nm\u4e16\u4ee3\u306b\u5229\u7528\u3059\u308b\u30d7\u30ec\u30fc\u30ca\u578b\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306b\u6bd4\u3079\u308b\u3068\u3001\uff0822nm\u4e16\u4ee3\u3067Tri-Gate\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u3092\u63a1\u7528\u3059\u308c\u3070\uff09\u6d88\u8cbb\u96fb\u529b\u306f\u534a\u5206\u4ee5\u4e0b\u306b\u524a\u6e1b\u3067\u304d\u308b\u300d\u300cTri-Gate\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u6280\u8853\u306e\u5229\u7528\u306b\u3088\u308a\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30a6\u30a8\u30cf\u30fc\u306e\u52a0\u5de5\u30b3\u30b9\u30c8\u306f2-3\uff05\u4e0a\u6607\u3059\u308b\u300d\u3068\u3055\u308c\u308b\u3002^ \u82f1: gate-all-around FET^ Singh N et al. (2006). \u201cHigh-Performance fully depleted Silicon Nanowire Gate-All-Around CMOS devices\u201d. IEEE Electron Device Letters 27 (5):  383\u2013386. doi:10.1109\/LED.2006.873381.\u00a0\u95a2\u9023\u9805\u76ee[\u7de8\u96c6]\u53c2\u8003\u30ea\u30f3\u30af[\u7de8\u96c6]\u5916\u90e8\u30ea\u30f3\u30af[\u7de8\u96c6]"},{"@context":"http:\/\/schema.org\/","@type":"BreadcrumbList","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"item":{"@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/#breadcrumbitem","name":"Enzyklop\u00e4die"}},{"@type":"ListItem","position":2,"item":{"@id":"https:\/\/wiki.edu.vn\/jp\/wiki9\/2022\/03\/24\/%e3%83%9e%e3%83%ab%e3%83%81%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e7%b4%a0%e5%ad%90-wikipedia\/#breadcrumbitem","name":"\u30de\u30eb\u30c1\u30b2\u30fc\u30c8\u7d20\u5b50 – Wikipedia"}}]}]