Carl Zeiss Smt – ウィキペディア

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Carl Zeiss Smt Gmbh
法的形式 Gmbh
設立 2001年
シート ドイツ、Oberkochen
管理
販売量 2,298 MRD. € （2020/21） [初め]
業界 半導体業界向けの機器
Webサイト www.zeiss.de/smt

Carl Zeiss Smt Gmbh （半導体製造技術）は、Carl Zeiss AGで半導体技術の領域を形成し、マイクロチップの生産のための機器を開発および生産します。同社は2016年までにCarl Zeiss AGが100％所有していました。 2016年11月、オランダの会社ASMLは、約10億ユーロでCarl Zeiss SMT GmbHの24.9％を買収しました。

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この部門には、スワビアンの都市オベルコチェンに本社があります。他の場所は、イェナ、ウェッツラー、ロブドルフ、ダブリン（米国）、ピーボディ（アメリカ）、バーレフ（イスラエル）にあります。合計約5,200人の従業員がいます [2] これらの7つの場所で忙しい。すべての従業員の約30％が研究開発で使用されています。 [2]

半導体製造光学 [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

このZeiss部門は、半導体生産のために光学系を開発および製造しています。コアビジネスは、ウェーハスキャナーの心臓を形成するリトグラフ光学です。投影外観の開発と製造、および関連する照明システムの開発は、Oberkochenの場所で行われます。これは、Wetzlarの場所でも照明システムの生産です。リソグラフィオプティクスに加えて、この部門は、リソグラフィシステムの光源として使用されるレーザー用の光学コンポーネントを含む、他の多くの光学系を専門としています。

チップ生産の新しい形態のために、Carl Zeiss SmtはTrumpFおよびASMLとともに、EUVリソグラフィを使用してチップを公開する搾取システムを開発しました。 2020年11月25日、Carl Zeiss Smt GmbHは、この開発のために連邦大統領が毎年授与されるドイツの将来賞を受賞しました。 [3]

Photomaskensysteme [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

この製品領域は、光マスの特定のマスク特性を分析、修復、修復、最適化するシステムを開発および生産します。光を使用してウェーハにマッピングされているすべての構造情報は、顕微鏡にあります。

1968年、Carl Zeissは初めてサーキットプリンターの外観を提供しました。 [4] 約9年後、Carl Zeissによる光学系は、David Mann（後のGCA）の現代ウェーハステッパーの世界初の前任者の一部になりました。 [5]

1983年、カール・ゼイスの最初のリトグラフの外観は、10年後にフィリップスのワーファーシッパーで使用され、カール・ツァイスとフィリップスはASMLを開始しました。

1994年、半導体テクノロジー部門はCarl Zeissによって設立されました。 Carl Zeiss Smt GmbHとその子会社Carl Zeiss Laser Optics GmbHとCarl Zeiss SMS GmbHは2001年に続きました。同じ年に、Carl Zeissによる半導体技術工場の建設は、2006年に完成したOberkochen-KönigsbronnInterminciper Earseで始まりました。 [6]

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2010年、この部門は初めて10億ユーロ以上に達しました。 [2] 2014年10月に、子会社のCarl Zeiss Laser OpticsとCarl Zeiss SMS GmbHがCarl Zeiss SMT GmbHに統合されました。

  1. ↑ 年次報告書2020/21 Zeiss Group。 カール・ゼイスAG、 2022年4月6日にアクセス 。
  2. ↑ a b c 年次報告書2020/21 Zeiss Group。 カール・ゼイスAG、 2022年4月6日にアクセス 。
  3. ↑ Deutscher-Jukunftspreis.de
  4. ↑ K.ヘニングス： マイクロミニ科学の技術的問題（平面技術） In：Technica、1967、S。2337–2341。
  5. ↑ Prosenjit Rai-Choudury（hrsg。）： マイクロリソグラフィ （= マイクロリソグラフィー、マイクロマシン、およびマイクロファブリケーションのハンドブック。 第1巻）Spie Press 1997、S。83
  6. ↑ ステファンペトロウ： …一緒に属するもの。カール・ツァイスの20年の統一。 Hanseatic Mercury、Hamburg 2011、ISBN 978-3-922857-51-8、p。111ff。

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