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実際、外気圧が押します マグデブルク半球 一緒に：a）空気で満たされた半分のボール、b）エアレス半球、1番目のハンドル、2番目の気密シーリング、3。マグデブルク半球、4。空気圧、5番目の真空

学校テスト用のピストン真空ポンプ付きガラスベル

真空技術 真空の生産、メンテナンス、測定のためのデバイスと手順を扱っています。 [初め] [2]

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真空の研究と技術生産は17世紀に始まりました。今日の真空技術は、次のような業界や研究の多くの分野で使用されています。 B.材料の治療または食品産業の取り扱いのための生産および製造技術において、医療技術、物理学、化学。 [3] [4] アプリケーションに応じて、約1000 hPaの大気の空気圧と10の極端な超高真空の間の特定の真空面積 -14 HPA使用。

真空技術へのいくつかの重要な貢献はuを作りました。物理学者のオットー・フォン・グエリック、ヴォルフガング・ゲーデ、マルチェロ・ピラニ、ルドルフ・ジャケル、ルイス・ホール（バリアン）。 [5]

真空技術は、物質科学、表面物理学（手順CVD、PVDなど）、薄層技術、マイクロおよびナノテクノロジーおよびプロセス技術の境界プロセスです。彼女はまた、宇宙旅行で役割を果たしています [6] 、食品産業（冷凍庫）、家庭内（真空クリーナー、掃除機、真空デバイス）など。

以前にガスで埋められたボリュームで真空を生成するには、ガス（運動様式のゲスト理論も参照）をボリュームから除去する必要があります。これは、機能原理に従って2つのグループに分けることができる真空ポンプを使用して行われます。圧縮ポンプは、変位またはパルス送信により体積を除去します。別のオプションは、ボリュームの壁のガスを凝縮または化学的に排出することです。

次の印刷領域は、真空技術で区別されています。 [7]

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  • 粗空の真空：1013 HPAから最大1 hPa、
  • 細かい真空：1 HPAから10まで -3 HPA、
  • Hochvakuum：10 -3 HPA BIS 10 -7 HPA、
  • ultrahochvakuum（UHV）：10未満 -7 HPA。
  • 「究極の真空」： [8] 10未満 -9 HPA。

真空ポンプの選択は、達成する圧力と適用領域に依存します。高い真空の場合、予備的な真空と高真空ポンプを備えたマルチステージプロセスが使用されます。 [9]

現在の記録（2020年現在）は6.7×10です -17 mbar。 [十]

ポンプ、システム、システムのよく知られているメーカー（特にUHV用）にはB. Edwards、Leybold、Pfeiffer、Pink、またはメーカーは、真空技術と、次のような半導体業界向けの基本コンポーネントを開発します。 B. Amec、Axitron、Tokyo Electron、Veeco、Ulvacなど。

真空は圧力を測定するために使用され、それぞれに特徴的な測定範囲があり、真空技術の大きな圧力面積が原因で総面積の一部のみをカバーします。圧力測定はガス依存性になる可能性があります。

直接または絶対的な真空測定測定は、領域に作用するパワーとして圧力を測定します。直接圧力測定は、粗い真空領域でしか比較的正確です。間接圧力測定の場合、圧力は密度、したがって圧力依存性の特性の関数として決定されます。圧力が低い測定の不確実性で決定される場合、微細な真空領域ではすでに高い努力が必要です。

真空プロセスの場合、必要に応じて圧力を継続的にチェックして規制する必要があります。測定値は送信され、制御および切り替えステーションに登録されます。この制御と規制は、特定の領域の真空システムの圧力を維持します。

スペシャリスト記事 [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

  • ヴォルフガングジョリッシュ： 真空技術：何十年もの間、ハイテクにとって不可欠な前提条件 。の： 研究と実践における真空 。 バンド 23 、 いいえ。 4 、2011年8月、 S. 3–3 、doi： 10.1002/VIPR.201190033 。
  • I. J. R. Aitchison： 現代の量子畑の理論には何も掃除機がありません 。の： 現代物理学 。 バンド 26 、 いいえ。 4 、1985年7月、 S. 333–391 、doi： 10.1080/00101518508219107 （英語）。

スペシャリストの本 [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

  • Oleg B. Malyshev： 粒子加速器の真空：ビーム真空システムのモデリング、設計、動作 。第1版。 Wiley、2019、ISBN 978-3-527-34302-7、doi： 10,1002/9783527809134 （英語）。
  • マックス・ワッツ： 手動真空技術 。 HRSG。：Karl Justen（= スプリンガーリファレンステクノロジー ）。 12.、新しく編集された版。 Springer Vieweg、Wiesbaden [Heidelberg] 2018、ISBN 978-3-658-13386-3。
  • Wolfgang Jorisch（編）： 化学産業の真空技術 。第1版。 Wiley-VCH、Weinheim、Bergstr 2015、ISBN 978-3-527-31834-6（英語）。
  • ドナルド・M・マトックス： 真空コーティング技術の基礎 。 Springer、Berlin 2003、ISBN 978-3-540-20410-7（英語）。
  • ジェームズ・M・ラファティ（hrsg。）： 真空科学技術の基礎 。ワイリー、ニューヨーク1998、ISBN 978-0-471-17593-3（英語）。
  • Nagamitsu Yoshimura: 真空技術：科学機器の実践 。 Springer、Berlin 2008、ISBN 978-3-540-74432-0（英語）。
  • ジョン・F・オフメロン： 真空技術に関するユーザーガイド 。 3.エディション。 Wiley-Interscience、Hoboken、NJ 2003、ISBN 978-0-471-27052-2（英語、 archive.org ）。

クラシック、歴史、人気 [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

  • M.ピラニ、J。ヤーウッド： Vaccum Engineeringの原則 。チャップマンとホール、ロンドン1963（英語、 archive.org ）。
  • ハインツ・バルファス： 真空技術の歴史：5世紀のレビュー 。の： 研究と実践における真空 。 バンド 25 、 いいえ。 2 、 2013年4月、 S. 8–13 、doi： 10.1002/VIPR.201300524 。
  • ヘニングジェンツ： 何もありません：真空の物理学 （= 科学を体験してください ）。 Wiley-VCH、Weinheim 2004、ISBN 978-3-527-40319-6。

他の専門のドア [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

ジャーナルと雑誌 [ 編集 | ソーステキストを編集します ]

  1. ↑ Karl Junky、Wolfgings Jitechin、Felix Sharipov、Rudol Laughsman、Alinnons Player： 124テーブルと102の例を備えたWutz Manual Vacuum Technology 。 11.、オーバー – カウンターと広告。版。 Wiesbaden 2013、ISBN 978-3-8348-1745-7。
  2. ↑ ジョン・F・オフメロン： 真空技術のユーザーガイド 。第3版版。 Wiley-Interscience、Hoboken、NJ 2003、ISBN 0-471-27052-0。
  3. ↑ 真空なしでは何も機能しません-DVG -Home。 2021年11月27日にアクセス 。
  4. ↑ リサ・クライン： 移動、測定、プロデュース、インスピレーション – 真空は何かをすることができます！ の： prophysik.de。 Wiley-VCH GmbH、2020年12月30日、 2021年11月27日にアクセス 。
  5. ↑ ルイスD.ホール： イオン真空ポンプ：ガスの粒子を除去する代わりに、一部の新しいポンプは単に固相に移動します。 の： 化学 。 バンド 128 、 いいえ。 3319 、8。1958年8月、ISSN 0036-8075 、 S. 279–285 、doi： 10.1126/science.128.3319.279 （英語、 science.org [2023年1月15日にアクセス]）。
  6. ↑ アンドレアス・コルブランナー： 仕組み：宇宙シミュレーションチャンバーの真空技術。 2022年7月1日にアクセス （スイスハイドイツ語）。
  7. ↑ プロセスガスのポンプ。 Leybold gmbh、 2021年11月27日にアクセス 。
  8. ↑ Georg Gaertner： 真空エレクトロニクスの歴史的発展と将来の傾向 。の： Journal of Vacuum Science＆Technology B、Nanotechnology and Microelectronics：材料、加工、測定、および現象 。 バンド 30 、 いいえ。 6 、2012年11月、ISSN 2166-2746 、 S. 060801 、doi： 10.1116/1,4747705 （英語、 Scitation.org [2023年1月15日にアクセス]）。
  9. ↑ バーバラ・ウルファー： ウェンデルシュタイン7-X：新種の中核的な融合。 の： スペクトラム。 科学のverlagsgesellschaft、2014年6月10日、 2021年11月27日にアクセス 。
  10. ↑ Georg Gaertner： 真空エレクトロニクスと真空電子源と将来の開発動向の歴史 。の： 真空電子源における最新の開発 。 バンド 135 。 Springer International Publishing、Cham 2020、ISBN 978-3-03047290-0、 S. 1–31 、doi： 10,1007/978-3-030-47291-7_1 （英語、 springer.com [2023年1月15日にアクセス]）。
  11. ↑ スケート – AVS：材料、インターフェイス、および処理の科学と技術。 2021年11月27日にアクセス （英語）。
  12. ↑ DVG-E.Vへようこそ。 -DVG-Home。 2021年11月27日にアクセス 。
  13. ↑ iuvsta -dvg -home。 2021年11月27日にアクセス 。

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